公开(公告)号：CN102870236A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201180019134.2

申请日：2011-03-31

申请人： 应用材料公司

发明人： 崔东万 ,  迈克尔·P·斯图尔特 ,  徐理 ,  赫曼特·P·芒格卡 ,  森霍姆·帕克 ,  肯尼思·马克威廉姆斯

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC分类号： H01L31/02168 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1868 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明的实施例包括太阳能电池与用于形成太阳能电池的方法。详言之，这些方法可用于在太阳能电池衬底上形成钝化/ARC层，该钝化/ARC层具有结合的功能与光学梯度特性。该方法可包括以下步骤：将第一处理气体混合物流进处理腔室内的处理空间；在处理腔室中在超过0.65w/cm2的功率密度下生成等离子体；在处理空间中在太阳能电池衬底上沉积含氮化硅界面子层；将第二处理气体混合物流进处理空间；以及在含氮化硅界面子层上沉积含氮化硅体子层。