公开(公告)号：CN104067232A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201280052415.2

申请日：2012-10-31

申请人： 应用材料公司

发明人： 布拉德·舒尔策 ,  约瑟夫·多克斯

IPC分类号： G06F11/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B23/0272 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/32222 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明描述了将传感器数据链接至计量数据和将计量数据链接至传感器数据的方法及系统。在一个实施例中，接收产品的计量数据的用户选择，呈现该产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要，从该处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择，以及呈现所选处理工具的相关故障检测明细。

公开(公告)号：CN104067232B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201280052415.2

申请日：2012-10-31

申请人： 应用材料公司

发明人： 布拉德·舒尔策 ,  约瑟夫·多克斯

IPC分类号： G06F11/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B23/0272 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/32222 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明描述了将传感器数据链接至计量数据和将计量数据链接至传感器数据的方法及系统。在一个实施例中，接收产品的计量数据的用户选择，呈现该产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要，从该处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择，以及呈现所选处理工具的相关故障检测明细。