计量工具的误差记录分析方法和系统

    公开(公告)号:CN1885049A

    公开(公告)日:2006-12-27

    申请号:CN200610094605.7

    申请日:2006-06-21

    摘要: 一种识别用于测量微电子特征所需尺寸的计量工具系统中的失效的方法,其中的每个计量工具运行多个配方以测量微电子特征所需尺寸,每个配方包括测量微电子特征的至少一个尺寸的一组指令。该系统包括存储有微电子特征尺寸测量中的失效的误差记录。该方法包括从上述的失效中确定由计量工具所使用的配方的误差的归一化数量、识别误差记录中具有最大归一化误差数量的一个或多个配方、在由计量工具执行的作业列表中识别所述具有最大归一化误差数量的配方以及从所述配方中确定一个或多个配方的误差的原因。然后改变具有最大归一化误差数量的配方以校正其中的误差,跟踪具有所述已经改变的一个或多个配方的计量工具作业以确定是否已经校正了误差原因。

    生产线监视装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104685429B

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201280076090.1

    申请日:2012-09-28

    发明人: 中山大辅

    IPC分类号: G05B19/418 H05K13/00

    摘要: 本发明提供生产线监视装置,高精度地确定生产不良的原因,并且减少分析数据的数据量和计算量,能够进行实时处理。本发明的生产线监视装置(6)具备:不良征兆检测部(61),检测生产线(1)中的生产不良的征兆;及不良原因确定部(62),确定生产不良的原因。不良征兆检测部(61)收集由检查装置(5)对用于确定产品中的位置的每个基准点(REF1~REF3)所测定的测定信息,根据基准点(REF1~REF3)处的测定信息的历时变化来检测生产不良的征兆。不良原因确定部(62)基于不良征兆检测部(61)检测出生产不良的征兆时的与基准点(REF2)相关的生产信息来进行分层分析,并根据分析结果来确定生产不良的原因不良。

    品质管理装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN105940354A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201580005005.6

    申请日:2015-02-06

    摘要: 品质管理装置具有:设备信息获取部,获取在由生产设备处理制品时观测的、表示所述生产设备的状态的设备状态值的数据;制品信息获取部,获取从由所述生产设备处理的制品计测的表示所述制品的状态的制品状态值的数据。在判定某个制品为不合格品的情况下,通过与制品状态值的合格品分布进行比较,来判定该不合格品的制品状态值是否为异常值,并且,通过与设备状态值的合格品分布进行比较,来判定处理该不合格品时的设备状态值是否为异常值,在判定与所述不合格品相关的制品状态值和设备状态值全为异常值的情况下,判断为所述生产设备存在异常。

    生产线监视装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104685429A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201280076090.1

    申请日:2012-09-28

    发明人: 中山大辅

    IPC分类号: G05B19/418 H05K13/00

    摘要: 本发明提供生产线监视装置,高精度地确定生产不良的原因,并且减少分析数据的数据量和计算量,能够进行实时处理。本发明的生产线监视装置(6)具备:不良征兆检测部(61),检测生产线(1)中的生产不良的征兆;及不良原因确定部(62),确定生产不良的原因。不良征兆检测部(61)收集由检查装置(5)对用于确定产品中的位置的每个基准点(REF1~REF3)所测定的测定信息,根据基准点(REF1~REF3)处的测定信息的历时变化来检测生产不良的征兆。不良原因确定部(62)基于不良征兆检测部(61)检测出生产不良的征兆时的与基准点(REF2)相关的生产信息来进行分层分析,并根据分析结果来确定生产不良的原因不良。