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公开(公告)号：CN117396629A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202180098480.8
申请日：2021-05-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱利安·奥巴赫 , 安德烈亚斯·穆勒 , 哈拉尔德·伍斯特 , 安德烈亚斯·勒普 , 大卫·弗里德里希·弗雷赫尔·冯·林登费尔 , 斯 , 安治高志
IPC: C23C14/24
Abstract: 描述了一种用于蒸镀材料分配器的喷嘴。所述喷嘴包括：喷嘴入口，所述喷嘴入口用于接收蒸镀材料；喷嘴出口；以及喷嘴通路，所述喷嘴通路在所述喷嘴入口与所述喷嘴出口之间延伸，所述喷嘴通路具有第一通路部分、第二通路部分和第三通路部分，所述第二通路部分具有在从所述喷嘴入口到所述喷嘴出口的方向上连续地增大的孔径角，并且所述第三通路部分具有基本上恒定的孔径角。
