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1.

外观设计
用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件有权

公开(公告)号：CN306961539S

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202130375279.2

申请日：2021-06-17

申请人： 应用材料公司

设计人： 耀鸿·杨 , 埃里克·鲁兰 , 索拉布·M·乔达里 , 迪-业·吴 , 菲利普·韦恩·纳格尔 , 阿尼茹达·帕 , 苏希尔·R·冈德哈勒卡尔 , 锡亚马克·萨利米安 , 斯科特·林 , 陈文森

摘要： 1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。
6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。