公开(公告)号：CN107447203A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710277189.2

申请日：2017-04-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 大平·姚 ,  海曼·W·H·拉姆 ,  江·吕 ,  迪-业·吴 ,  参·许 ,  马伯方 ,  梅·常

IPC分类号： C23C16/455

CPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45561

摘要： 本文公开了一种气体供应线组件和使用所述气体供应线组件的处理设备。在一些实施方式中，气体供应线组件包括：电介质主体；延伸穿过所述电介质主体的至少一个通道；和设置在所述至少一个通道中的电介质管，其中所述通道的内直径大于所述电介质管的外直径使得在所述电介质管的外壁与所述通道的内壁之间形成间隙。

公开(公告)号：CN306961539S

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202130375279.2

申请日：2021-06-17

申请人： 应用材料公司

设计人： 耀鸿·杨 ,  埃里克·鲁兰 ,  索拉布·M·乔达里 ,  迪-业·吴 ,  菲利普·韦恩·纳格尔 ,  阿尼茹达·帕 ,  苏希尔·R·冈德哈勒卡尔 ,  锡亚马克·萨利米安 ,  斯科特·林 ,  陈文森

摘要： 1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。
6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。