公开(公告)号：CN116508416A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202180079126.0

申请日：2021-11-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈重嘉 ,  郭炳成 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: H10K71/20

Abstract: 本公开内容的实施方式总体涉及电致发光(EL)装置。更具体地，本文描述的实施方式涉及用于形成EL装置的阵列并且选择性图案化EL装置中的填料材料的方法。由于图案化的填料，由本文描述的方法形成的EL装置将具有改进的输出耦合效率。本文描述的方法图案化填料并且通过不依赖于利用精细金属掩模的喷墨印刷或热蒸发而提供大面积、低成本、及高分辨率的EL装置形成。

公开(公告)号：CN113924517B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202080041362.9

申请日：2020-04-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 傅晋欣 ,  徐永安 ,  卢多维克·葛德特 ,  拿玛·阿加曼 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: H04N23/16 ,  H04N23/55 ,  H04N23/951 ,  H04N23/957 ,  H04N5/265 ,  H04N23/84 ,  G02B13/00 ,  G02B5/04 ,  G02B27/00

Abstract: 本案提供生成复合影像的成像系统及方法。所述成像系统包括耦合至传感器的一或更多个透镜组件。当来自物体的反射光进入所述成像系统时，在超透镜滤光系统上的入射光生成经过滤的光，经过滤的光被对应的传感器转成复合影像。各超透镜滤光系统将光聚焦于特定波长中，从而生成超透镜影像。这些超透镜影像被发送至处理器，其中所述处理器将超透镜影像结合成为一或更多个复合影像。超透镜影像被结合成复合影像，而所述复合影像具有减少的色差。

公开(公告)号：CN106967962A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201610959770.8

申请日：2016-10-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 兰加·拉奥·阿内帕利 ,  奈尔施·奇尔曼奥·巴古 ,  普莉娜·松特海利亚·古拉迪雅 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: C23C16/448

Abstract: 描述用于处理在基板表面上的膜的系统和方法。所述系统具有气溶胶发生器，所述气溶胶发生器从一或多种前驱物的冷凝物质(液体或固体)来形成液滴。载气流过所述冷凝物质，并将液滴推向放在基板处理区域中的基板。与气溶胶发生器连接的直列泵也可以用于将液滴推向基板。直流(DC)电场被施加在两个导电板之间，这两个导电板被构造为使所述液滴在这两个导电板之间经过。所述液滴的大小通过所述DC电场的施加而按需要地减小。在穿过所述DC电场后，所述液滴进入所述基板处理区域，并且与所述基板进行化学反应来沉积或蚀刻膜。

公开(公告)号：CN118348657A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410257855.6

申请日：2020-04-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 傅晋欣 ,  徐永安 ,  卢多维克·葛德特 ,  拿玛·阿加曼 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: G02B13/00 ,  H04N23/55 ,  G02B5/20 ,  G02B1/00 ,  G02B27/00

Abstract: 本案提供生成复合影像的成像系统及方法。所述成像系统包括耦合至传感器的一或更多个透镜组件。当来自物体的反射光进入所述成像系统时，在超透镜滤光系统上的入射光生成经过滤的光，经过滤的光被对应的传感器转成复合影像。各超透镜滤光系统将光聚焦于特定波长中，从而生成超透镜影像。这些超透镜影像被发送至处理器，其中所述处理器将超透镜影像结合成为一或更多个复合影像。超透镜影像被结合成复合影像，而所述复合影像具有减少的色差。

公开(公告)号：CN113924517A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202080041362.9

申请日：2020-04-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 傅晋欣 ,  徐永安 ,  卢多维克·葛德特 ,  拿玛·阿加曼 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: G02B13/00 ,  G02B5/04 ,  H04N5/225

Abstract: 本案提供生成复合影像的成像系统及方法。所述成像系统包括耦合至传感器的一或更多个透镜组件。当来自物体的反射光进入所述成像系统时，在超透镜滤光系统上的入射光生成经过滤的光，经过滤的光被对应的传感器转成复合影像。各超透镜滤光系统将光聚焦于特定波长中，从而生成超透镜影像。这些超透镜影像被发送至处理器，其中所述处理器将超透镜影像结合成为一或更多个复合影像。超透镜影像被结合成复合影像，而所述复合影像具有减少的色差。

公开(公告)号：CN106967962B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201610959770.8

申请日：2016-10-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 兰加·拉奥·阿内帕利 ,  奈尔施·奇尔曼奥·巴古 ,  普莉娜·松特海利亚·古拉迪雅 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: C23C16/448

Abstract: 描述用于处理在基板表面上的膜的系统和方法。所述系统具有气溶胶发生器，所述气溶胶发生器从一或多种前驱物的冷凝物质(液体或固体)来形成液滴。载气流过所述冷凝物质，并将液滴推向放在基板处理区域中的基板。与气溶胶发生器连接的直列泵也可以用于将液滴推向基板。直流(DC)电场被施加在两个导电板之间，这两个导电板被构造为使所述液滴在这两个导电板之间经过。所述液滴的大小通过所述DC电场的施加而按需要地减小。在穿过所述DC电场后，所述液滴进入所述基板处理区域，并且与所述基板进行化学反应来沉积或蚀刻膜。

公开(公告)号：CN206494968U

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201621184367.4

申请日：2016-10-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 兰加·拉奥·阿内帕利 ,  奈尔施·奇尔曼奥·巴古 ,  普莉娜·松特海利亚·古拉迪雅 ,  罗伯特·杨·维塞

IPC: C23C16/448

CPC classification number: C23C16/4486 ,  H01L21/02107 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/30621 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/32 ,  H01L21/465

Abstract: 描述用于处理在基板表面上的膜的系统和方法。所述系统具有气溶胶发生器，所述气溶胶发生器从一或多种前驱物的冷凝物质(液体或固体)来形成液滴。载气流过所述冷凝物质，并将液滴推向放在基板处理区域中的基板。与气溶胶发生器连接的直列泵也可以用于将液滴推向基板。直流(DC)电场被施加在两个导电板之间，这两个导电板被构造为使所述液滴在这两个导电板之间经过。所述液滴的大小通过所述DC电场的施加而按需要地减小。在穿过所述DC电场后，所述液滴进入所述基板处理区域，并且与所述基板进行化学反应来沉积或蚀刻膜。