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公开(公告)号：CN113519046A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN201980093451.5
申请日：2019-03-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , H01L51/56 , H01L21/687
Abstract: 本发明描述一种用于掩模的载体。载体包括载体主体，具有被配置以面向掩模的至少一部分的表面，所述载体主体具有用于材料沉积的开口；和磁性保持布置，具有在所述载体主体的开口周围、布置在载体主体处的一个或多个磁性保持器。
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