公开(公告)号：CN1107523A

公开(公告)日：1995-08-30

申请号：CN94118712.8

申请日：1994-11-21

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 理查德·E·德马雷 ,  曼纽尔·J·赫雷拉 ,  大卫·E·伯特斯特莱塞

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01J37/32458 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/564 ,  F28F3/12 ,  H01J37/3411 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3497 ,  H01J2237/022

摘要： 靶组合件由靶材、靶支托板及盖板构成，它含有一整体式的冷却通道。在支托板或盖板上事先开有若干沟槽，再将之牢固粘合；冷却液接头又只布置在其周界处，从而消除了该液漏入并污染处理室及工作的危险。组合件的下方封住了处理室，上方封住了内放扫动磁铁的并抽成真空的顶室，由于该件两侧压强已大致相同，纵使其形大而薄(镀平板显示器时需用)，镀层仍能均匀，靶材利用率亦高，消除了因靶材弯沉或冷却不足而带来的不利影响。

公开(公告)号：CN1058998C

公开(公告)日：2000-11-29

申请号：CN94118712.8

申请日：1994-11-21

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 理查德·E·德马雷 ,  曼纽尔·J·赫雷拉 ,  大卫·E·伯特斯特莱塞

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01J37/32458 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/564 ,  F28F3/12 ,  H01J37/3411 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3497 ,  H01J2237/022

摘要： 靶组合件由靶材、靶支托板及盖板构成，它含有一整体式的冷却通道。在支托板或盖板上事先开有若干沟槽，再将之牢固粘合；冷却液接头又只布置在其周界处，从而消除了该液漏入并污染处理室及工件的危险。组合件的下方封住了处理室，上方封住了内放扫动磁铁的并抽成真空的顶室，由于该件两侧压强已大致相同，纵使其形大而薄(镀平板显示器时需用)，镀层仍能均匀，靶材利用率亦高，消除了因靶材弯沉或冷却不足而带来的不利影响。