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公开(公告)号：CN108076645A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201680053972.4
申请日：2016-07-12
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： C23C14/3414 , C22C9/00 , C22C9/06 , C22F1/002 , C22F1/08 , C23C14/3407 , H01J37/3435
摘要： 本公开包括一种形成与溅射靶一起使用的高强度背衬板的方法，其包括固溶第一金属材料；对所述第一金属材料施以等通道转角挤压；和时效处理所述第一金属材料。
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公开(公告)号：CN105026608B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201480010487.X
申请日：2014-03-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/3435 , Y10T428/218 , Y10T428/219
摘要： 在一些实施方式中，一种用于具有处理屏蔽件的基板处理腔室中使用的靶组件可包括：背板，具有第一侧和相对的第二侧，其中该第二侧包含具有第一直径的第一表面，由第一边缘约束该第一表面；靶材料，具有粘合至背板的第一表面的第一侧；其中第一边缘为背板与靶材料之间的界面；和多个槽缝，沿背板的外部外围安置以在使用期间相对于处理屏蔽件对准靶组件，其中在背板的第一侧中形成多个槽缝并且所述多个槽缝仅部分延伸至背板中。
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公开(公告)号：CN107075664A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083194.4
申请日：2014-11-07
申请人： 应用材料公司
发明人： 细川昭弘
CPC分类号： C23C14/3414 , C23C14/3407 , H01J37/34 , H01J37/3417 , H01J37/3426 , H01J37/3435
摘要： 描述了整体式旋转靶材。所述靶材包括溅射区域和凸缘区域，其中所述溅射区域由第一材料制成且所述凸缘区域由所述第一材料制成。所述溅射区域和所述凸缘区域是一体形成的。
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公开(公告)号：CN104822856B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201380062362.7
申请日：2013-08-23
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3417 , C23C14/352 , H01J37/32715 , H01J37/3405 , H01J37/3435 , H01J37/3447
摘要： 一种溅射装置，所述溅射装置包括腔室、可以在所述腔室中保持基板并围绕与在基板保持表面垂直的轴线转动的基板保持件、第一至第四靶材保持件、遮挡单元、及通过其传送基板的闸阀。第一至第四靶材保持件布置在具有长边及短边并内接于以所述轴线为中心的假想圆的假想长方形的顶点上，第一靶材保持件及第二靶材保持件分别布置在假想长方形的限定一个短边的两个顶点上，并且第一靶材保持件及第二靶材保持件到闸阀的距离小于第三靶材保持件及第四靶材保持件到闸阀的距离。
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公开(公告)号：CN106574362A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580042283.9
申请日：2015-06-18
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3435 , C23C14/081 , C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3426 , H01J37/3497
摘要： 本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时可靠地防止结合靶和背板的粘接材料向外部渗出。背板(22)具有比靶(21)的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)。环状的屏蔽板(4)与延伸部分相对配置，以便在将靶组件(2)安装在溅射装置(SM)上时围住靶。以背板上结合有靶的部分作为接合部分(22b)，该接合部分相对于延伸部分凸出设置。使从延伸部分到接合部分的侧面的外表面都粗糙化。从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜(23)。
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公开(公告)号：CN106536787A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580038825.5
申请日：2015-07-16
申请人： 捷客斯金属株式会社
CPC分类号： H01J37/3435 , C22C27/04 , C23C14/3407 , H01J37/3417
摘要： 本发明提供一种背衬板，其为将防腐蚀性的金属与Mo或Mo合金接合而得到的背衬板，其中，在该Mo或Mo合金制背衬板的将要冷却的一侧(冷却面侧)的表面具备具有背衬板的总厚度的1/40～1/8的厚度的、通过接合选自Cu、Al或Ti中的一种以上金属或它们的合金而得到的包含防腐蚀性金属的层。本发明还提供将该Mo或Mo合金制背衬板与包含低热膨胀材料的靶接合而得到的溅射靶-背衬板组件。特别是，在半导体用途中，推进微细化，溅射时的粉粒的控制变得非常严格。本申请发明的课题在于，解决在包含低热膨胀材料的溅射靶的翘曲和Mo或Mo合金制背衬板的耐腐蚀性方面产生的问题。
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公开(公告)号：CN106463326A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480078747.7
申请日：2014-05-09
申请人： 应用材料公司
发明人： H·吴尔斯特
IPC分类号： H01J37/34
CPC分类号： H01J37/3441 , H01J37/3405 , H01J37/3435
摘要： 根据本公开，提供一种用于可旋转阴极的遮蔽装置(20)以及一种用于遮蔽沉积设备中的暗空间区域的方法，所述可旋转阴极具有用于将材料沉积到基板上的可旋转靶材(10)。所述遮蔽装置(20)包括：遮蔽件(21)，配置成用于覆盖可旋转靶材(10)的部分；以及固定件(80)，用于将所述遮蔽件(21)连接至所述可旋转靶材(10)。固定件(80)配置成用于与所述遮蔽件(21)啮合，以允许所述遮蔽件在可旋转靶材的轴向上基本上远离可旋转靶材(10)的中心膨胀。
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公开(公告)号：CN106463325A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480077077.7
申请日：2014-12-30
申请人： 佳殿欧洲责任有限公司
发明人： 吉尔贝特·加兰 , 让-菲利普·乌泽尔丁 , 盖伊·科曼斯 , 马塞尔·施洛雷贝格
CPC分类号： C23C14/34 , H01J37/32816 , H01J37/3405 , H01J37/3411 , H01J37/3417 , H01J37/342 , H01J37/3435 , H01J37/3497 , H01J2237/332
摘要： 提供一种用于旋转式溅射目标(1)的末端块一个或多个末端块，电触头(例如导电刷)(18)则定位在真空区域(8)(相对于大气压下的区域(9))的末端块中的收集器(20)和转子(22)之间。(4)，例如，旋转式磁控溅射目标。溅射装置包括
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公开(公告)号：CN104246003B9
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201380019524.9
申请日：2013-07-11
申请人： 三菱综合材料株式会社
发明人： 除補正则
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/342 , H01J37/3435
摘要： 容易且可靠地接合圆筒形靶材和衬管，防止圆筒形溅射靶的破损并提高使用效率。通过塞子(60)封闭衬管(40)的一端部而作为密封端部(42)，使熔融状态的接合材料(30)存留于可插入设置在接合材料填充夹具(70)上的衬管的横截面大致呈圆形的凹状的接合材料保持部(72)，将密封端部(42)朝下方的衬管(40)隔开间隙(g)而插入到载置于接合材料填充夹具(72)上的靶材(20)的内部，并通过该靶材(20)而插入到接合材料保持部(72)，从而，将熔融状态的接合材料(30)从接合材料保持部(72)压出，填充到靶材(20)的内周面与衬管(40)的外周面之间的间隙(g)之后使其固化，并从接合材料填充夹具(70)卸下，除去塞子(60)。
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公开(公告)号：CN103422067B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310289182.4
申请日：2008-06-18
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3435
摘要： 一种用于溅射腔室的溅射靶材，其包含背板并且所述背板上安装有溅射板。在一态样中，所述背板包括正面具有环形凹槽的圆形板。所述溅射板包含具有溅射面及背面的圆盘，在所述圆盘的背面具有环形凸脊，并且环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使所述凸脊安装入所述背板的环形凹槽中。
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