公开(公告)号：CN1729369A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200380106755.X

申请日：2003-12-19

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 马克·克罗克特 ,  约翰·W·莱恩 ,  迈克尔·J·德谢力斯 ,  克里斯·梅尔塞 ,  埃丽卡·R·波拉斯 ,  阿尼什·胡勒 ,  巴拉拉贝·N·穆罕默德

IPC分类号： F16K27/00

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F16K27/003 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076

摘要： 本发明涉及一种节省空间的集成流体传送系统，其对于将气体散布在半导体处理设备中特别有用。本发明还涉及一种集成的流体流量网络架构，其除了具有包含流体流量信道的层迭式基材之外还包括不同的流体运送(handling)及监测构件。层迭式基材被扩散粘结，且这些不同的流体运送及监测构件可被部分地整合或全部整合至基材中，端视设计及材料要求而定。

公开(公告)号：CN1729369B

公开(公告)日：2010-04-28

申请号：CN200380106755.X

申请日：2003-12-19

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 马克·克罗克特 ,  约翰·W·莱恩 ,  迈克尔·J·德谢力斯 ,  克里斯·梅尔塞 ,  埃丽卡·R·波拉斯 ,  阿尼什·胡勒 ,  巴拉拉贝·N·穆罕默德

IPC分类号： F16K27/00

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F16K27/003 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076

摘要： 本发明涉及一种节省空间的集成流体传送系统，其对于将气体散布在半导体处理设备中特别有用。本发明还涉及一种集成的流体流量网络架构，其除了具有包含流体流量信道的层迭式基材之外还包括不同的流体运送(handling)及监测构件。层迭式基材被扩散粘结，且这些不同的流体运送及监测构件可被部分地整合或全部整合至基材中，端视设计及材料要求而定。