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公开(公告)号：CN114402427B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202080061974.4
申请日：2020-09-10
Applicant: 应用材料股份有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/324 , H01L21/20 , H01J37/00
Abstract: 本公开提供一种可偏转压板以及使压板偏转的方法。可偏转压板包括：第一层，由具有第一热膨胀系数(CTE)的材料形成；以及第二层，结合到第一层且具有第二热膨胀系数，第二层包括嵌置在第二层中的多个电极以利于将晶片静电夹持到第二层，其中第二热膨胀系数与第一热膨胀系数不同。
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公开(公告)号：CN116217929B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202211565684.0
申请日：2022-12-07
Applicant: 杭州福斯特应用材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种聚酰亚胺树脂、膜和制备方法、挠性覆铜板、电子器件。该聚酰亚胺树脂，含有式I和式II所示的结构单元，#imgabs0#应用本发明的技术方案，在聚酰亚胺树脂中引入酯基，并通过特定的二酐与二胺的组合，使其具有较低的介电常数和较高的剥离强度，而且与铜箔的热膨胀系数CTE有良好的匹配性，有利于其应用于铜箔上的平整性及尺寸稳定性。
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公开(公告)号：CN114830284B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202080083234.0
申请日：2020-10-25
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·J·米歇尔
IPC: H01J37/18 , H01J37/317 , H01L21/683 , H01L21/687 , F25D3/10
Abstract: 提供一种低温热传导系统及离子植入系统。一种低温热传递系统包括台板、壳体，所述台板由可旋转轴支撑，所述壳体环绕可旋转轴的一部分，所述壳体包括：环形的热汇，环绕可旋转轴且在热汇与可旋转轴之间界定热传递间隙，热汇包括延伸穿过热汇的流体管道以使第一冷却流体经过热汇循环；第一动态密封配置，从热汇的第一轴向端部延伸且环绕可旋转轴；以及第二动态密封配置，从热汇的与第一轴向端部相对的第二轴向端部延伸且在径向上环绕可旋转轴；其中热汇以及第一动态密封配置及第二动态密封配置界定环绕可旋转轴的流体密封体积，流体密封体积容纳第二冷却流体。
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公开(公告)号：CN119100588A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202310682255.X
申请日：2023-06-09
Applicant: 亿高应用材料股份有限公司
Inventor： 杨修生
Abstract: 一种强化隔热玻璃及其制作方法，该强化隔热玻璃，以重量百分浓度表示，包含：60.0～85.2wt％的SiO2，6.14～12.0wt％的B2O3，6.14～12.0wt％的Na2O，0.1～3.0wt％的Al2O3，0.1～2.25wt％的CaO2，0.1～0.6wt％的Fe2O3，0.1～1.0wt％的SnO2，0.1～1.0wt％的Sb2O3，0.1～1.0wt％的Pr2O3，及，0.1～1.0wt％的ZrO2。藉此，本申请能以3mm厚度，通过汽车用安全玻璃标准规范。
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公开(公告)号：CN114514593B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202080070072.7
申请日：2020-09-15
Applicant: 应用材料股份有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/302 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开一种用于容纳固态掺杂材料的标靶座的离子源，具体而言公开一种间接加热式阴极离子源及标靶座。离子源包括靠近标靶座设置以监测固态掺杂材料的温度的热电偶。在某些实施例中，控制器使用此温度信息来变更离子源的一个或多个参数，例如电弧电压、阴极偏置电压、所提取射束电流或标靶座在电弧室内的位置。示出对控制器与热电偶之间的连接加以示出的各种实施例。此外，也呈现对热电偶在标靶座上的各种放置加以示出的实施例。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115976600B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202210987220.2
申请日：2022-08-17
Applicant: 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司
Abstract: 本发明属于铝合金表面处理技术领域，具体涉及一种铝合金阳极氧化处理工艺。本发明提供了一种铝合金阳极氧化处理工艺，包括以下步骤，将铝合金进行酸蚀、碱蚀后在80‑100℃下进行热处理，然后进行阳极氧化处理，最后进行封孔。本发明在酸蚀、碱蚀之后，阳极氧化处理之前对铝合金进行热处理，使铝合金内部的应力进行释放，可以使阳极氧化后镀的氧化膜能够更好的在铝合金表面附着，进一步提升了铝合金的抗腐蚀能力。
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公开(公告)号：CN118835205B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411314638.2
申请日：2024-09-20
Applicant: 深圳众诚达应用材料股份有限公司
IPC: C23C14/34 , C23C4/134 , C23C14/06 , C23C4/16 , B22F9/02 , B22F9/04 , B22F1/105 , B22F1/142 , C23C4/06 , H01L31/0224 , H01L31/04
Abstract: 本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种氮氧化钼旋转靶材及其制备方法和太阳能电池，包括：将纳米MoO2浆料和微米MoO2粉、MoN粉、Mo粉混合后进行等静压成型，然后破碎、过筛得到混合粉；将混合粉进行煅烧处理得到煅烧粉；将煅烧粉、粘结剂、分散剂和水进行球磨混合得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；将造粒粉进行脱脂处理，然后过筛得到喷涂粉；将喷涂粉喷涂到背管上，然后机加工得到氮氧化钼旋转靶材。本申请提供的氮氧化钼旋转靶材的制备方法，由于纳米MoO2粉和微米MoO2粉、MoN粉、Mo粉是经过成型、破碎、煅烧后再造粒、喷涂，因此制得的靶材成分更加趋近于原料配比，组织均匀性更好，致密度更高。
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公开(公告)号：CN118800842B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411281449.X
申请日：2024-09-13
Applicant: 深圳众诚达应用材料股份有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
Abstract: 本申请涉及太阳能电池技术领域，提供了一种低成本的太阳能电池电极及其制备方法，包括：提供待金属化的太阳能电池前驱体；将太阳能电池前驱体进行图形化处理，形成栅线图案；将含有栅线图案的太阳能电池前驱体置于铜镜反应液中进行还原反应，然后退火处理，形成铜种子层；利用铜电镀工艺在铜种子层表面制备铜镀层，然后将栅线图案以外的掩膜层和掩膜层上的铜种子层去除，形成太阳能电池电极。本申请提供的制备方法，可以替代PVD设备制备铜种子层，无需使用昂贵设备，成本低。并且本申请采用铜镜反应能够使铜均匀沉积到栅线图案凹槽的底部和侧壁，使铜种子层分布更加均匀，因此防止电镀过程形成缺陷，利于后续电镀形成均匀致密的铜镀层。
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公开(公告)号：CN118996360A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411493857.1
申请日：2024-10-24
Applicant: 深圳众诚达应用材料股份有限公司
Abstract: 本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种铽基靶材及其制备方法和稀土永磁体、新能源汽车。其中制备方法包括：将第一铽粉、第二铽粉和还原剂球磨混合，形成混合粉；将混合粉等静压成型，得到第一坯体；将细化剂浆料喷涂到第一坯体表面后进行烧结处理，得到第二坯体；将第二坯体进行微晶化退火处理，然后机加工得到铽基靶材。本申请提供的铽基靶材的制备方法，添加的还原剂在烧结过程中分解生成氢气，提供还原环境，防止铽氧化，从而确保靶材的铽金属纯度；第一坯体表面喷涂的细化剂浆料，在烧结过程中形成高粒界强度，提高坯体的致密性和耐热性能，从而抑制晶粒长大；对第二坯体微晶化退火处理可以促进晶粒细化，从而进一步提高靶材致密度。
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公开(公告)号：CN114274578B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202111564760.1
申请日：2021-12-20
Applicant: 深圳众诚达应用材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及靶材成型技术领域，具体地说，涉及一种模套及其制备和使用方法。所述模套包括质量占比41.5～45.5％的胶水一、质量占比41.5～45.5％的胶水二和质量占比9～17％的硅油，该模套硬度低，单边厚度薄，无气泡，收缩性和均匀性良好；制备模套时，去除胶料中的气泡，高温快速固化。在进行靶材压制时，可以使靶材受力均匀，解决靶材成型时开裂的问题。
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