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公开(公告)号:CN107003161A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580068769.X
申请日:2015-12-19
申请人: 应美盛有限公司
CPC分类号: G01D18/008 , B81B7/0087 , B81C99/003
摘要: 本发明公开一种用于具有至少一个传感器的MEMS器件的装置和方法。热元件邻近MEMS器件设置,以选择性地调节MEMS器件的温度。对于传感器启动校准操作,以基于该温度确定将要应用于传感器测量的校正值。校正值被存储。
公开(公告)号:CN107003161A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580068769.X
申请日:2015-12-19
申请人: 应美盛有限公司
CPC分类号: G01D18/008 , B81B7/0087 , B81C99/003
摘要: 本发明公开一种用于具有至少一个传感器的MEMS器件的装置和方法。热元件邻近MEMS器件设置,以选择性地调节MEMS器件的温度。对于传感器启动校准操作,以基于该温度确定将要应用于传感器测量的校正值。校正值被存储。