公开(公告)号：CN104684841A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380042767.4

申请日：2013-05-31

申请人： 普渡研究基金会

发明人： J·V·克拉克

IPC分类号： B81B7/00 ,  G01C19/56 ,  G01P15/00

CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81C99/003 ,  B81C99/0045 ,  G01C19/5755 ,  G01K11/00 ,  G01P15/097 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/0871 ,  G01Q20/00 ,  G01Q40/00

摘要： 测量微电子机械系统(MEMS)中的可移动质量的位移的方法包括抵靠着两个位移停止表面驱动所述质量以及测量诸如梳齿的感测电容器的对应差动电容。描述了具有位移停止表面的MEMS装置。在测量具有悬臂和偏转传感器的原子力显微镜(AFM)的属性的方法中、或者在具有用于感测被允许沿着位移轴振动的可移动质量的位移感测单元的温度传感器中，能够使用这种MEMS装置。运动测量装置能够包括90°异相地驱动的加速计和回转仪对。

公开(公告)号：CN103998894A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201280059912.5

申请日：2012-12-03

申请人： 萨甘安全防护公司

发明人： A·金洛伊

IPC分类号： G01C19/574

CPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81C99/0025 ,  B81C99/003 ,  B81C99/0045

摘要： MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。

公开(公告)号：CN103582607A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201180071239.2

申请日：2011-06-30

申请人： 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

发明人： B.D.霍梅耶尔 ,  R.N.比克内尔

IPC分类号： B81B7/02 ,  G01H17/00 ,  G01V1/16

CPC分类号： B81B3/0064 ,  B81B2201/0235 ,  B81C99/003 ,  G01H11/00 ,  G01V1/162 ,  G01V13/00

摘要： 微电子机械系统（MEMS）传感器被激发。该MEMS传感器的响应被测量。该MEMS传感器被校准。

公开(公告)号：CN103787266B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201310756911.2

申请日：2013-10-25

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： M·I·阿尔迪布斯 ,  F·N·恩吉蒙齐 ,  J·穆霍

IPC分类号： B81B7/02 ,  G01P15/097 ,  G01P3/42

CPC分类号： B81C99/003 ,  G02B26/0833

摘要： 本发明涉及一种机械部件，所述机械部件具有保持装置(10)、可调节部件(12)、第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b)，所述可调节部件(12)能够至少处于具有第一固有频率的第一振动模式中和具有与所述第一固有频率不同的第二固有频率的第二振动模式中，借助所述第一传感器装置能够提供第一传感器信号(U1)，借助所述第二传感器装置能够提供第二传感器信号(U2)，其中，所述第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b)彼此连接，使得能够借助至少所述第一传感器信号(U1)和所述第二传感器信号(U2)生成一个总信号(Uges，54)，所述总信号具有由所述总信号(Uges，54)的在激励所述第一振动模式时出现的第一最大量值和所述总信号(Uges，54)的在激励所述第二振动模式时出现的第二最大量值构成的有利的总比例。本发明也涉及一种机械系统和一种用于运行机械部件的方

公开(公告)号：CN105593158A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201580001969.3

申请日：2015-04-23

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 詹姆斯·道格拉斯·霍夫曼 ,  乔公国 ,  罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 ,  卡尔·F·斯麦林 ,  维克拉姆·乔希

IPC分类号： B81C99/00

CPC分类号： B81C99/003 ,  B81B2201/016 ,  B81B2207/015 ,  G01R27/2605 ,  H01G5/16 ,  H01L23/5228 ,  H01L29/93

摘要： 本发明总体涉及用于测试MEMS迟滞的机构。电源管理电路可以耦合到使布置在电极之间的可移动板在MEMS器件中移动的电极。电源管理电路可以利用电荷泵、比较器以及梯形电阻。

公开(公告)号：CN104919356A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201380064687.9

申请日：2013-12-12

申请人： 苹果公司

发明人： A·施庞特

IPC分类号： G02B26/08 ,  B81C99/00

CPC分类号： G01M11/005 ,  B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00015 ,  B81C99/003 ,  G01N27/00 ,  G01R31/026 ,  G02B26/0833 ,  H01L21/306

摘要： 本发明公开了一种用于监控的方法，该方法包括提供器件(64)，该器件包括第一部件(46)和第二部件(72)以及将第一部件连接至第二部件的活动接头(70)。测量穿过活动接头的导电路径(80)的电气特性，并且响应于检测到电气特性的变化来发起矫正措施。

公开(公告)号：CN101946278A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200980104850.3

申请日：2009-02-06

申请人： 高通MEMS科技公司

发明人： 阿洛科·戈维尔

IPC分类号： G09G3/34

CPC分类号： G09G3/3466 ,  B81B2201/042 ,  B81C99/003 ,  G09G3/006 ,  G09G2310/066 ,  G09G2320/0295 ,  G09G2320/0693

摘要： 本发明描述用于显示元件的电感测、测量及表征的方法及系统。一实施例包括将所述电感测、测量及表征与显示驱动方案集成。此实施例允许将对干涉式调制器MEMS装置的DC或操作滞后电压及/或响应时间的测量例如与显示驱动器IC及/或所述显示驱动方案完全集成。另一实施例允许在不导致人类用户可见的显示假影的情况下执行及使用这些测量。另一实施例允许重新使用若干现有电路组件及特征将测量电路与所述显示驱动器IC及/或所述显示驱动方案集成，因而允许测量方法的集成及其使用相对容易。

公开(公告)号：CN104697703B

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201410655567.2

申请日：2014-11-18

申请人： 恩智浦美国有限公司

发明人： C·S·达沃森 ,  P·T·琼斯

IPC分类号： G01L9/12 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： G01L27/002 ,  B81B2201/0264 ,  B81C99/003 ,  G01L9/0073 ,  H01L41/08

摘要： 本发明涉及具有内置校准能力的压力传感器。MEMS压力传感器(70)包括传感单元(80)、测试单元(82)和密封结构(84)。所述测试单元包括测试腔(104)，并且所述密封结构(84)与所述测试腔相通，其中所述密封结构被配置为破裂以将位于所述测试腔(104)内的初始腔压力(51)改变至环境压力(26)。校准方法(180)包含在破裂所述密封结构之前从所述测试单元获得(184)测试信号(186)，并且在所述密封结构破裂之后获得(194)另一个测试信号(196)。所述测试信号被用于计算所述测试单元的灵敏度(200)，所计算的灵敏度被用于估计所述传感单元的所述灵敏度(204)并且所述估计的灵敏度(204)可以被用于校准所述传感单元。

公开(公告)号：CN102095893B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201010554560.3

申请日：2010-11-17

申请人： 罗伯特.博世有限公司

发明人： J·克拉森 ,  A·克尔贝勒 ,  H-J·法伊斯特 ,  A·弗兰克 ,  M·哈塔斯 ,  H·兰克 ,  R·萨特勒 ,  A·布曼 ,  R·马斯 ,  M·凯克

IPC分类号： G01P21/00 ,  G01P15/125 ,  G01R33/02

CPC分类号： G01R33/0286 ,  B81C99/003 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P21/00

摘要： 本发明涉及确定传感器灵敏度的方法，这传感器包括有基底，地震质量，第一电极装置用于使质量相对于基底沿着测量轴线偏离，和第二电极装置用于使质量相对于基底偏离。方法包括了方法步骤a)，在这步骤中将第一偏离电压加在第一电极装置上，第二偏离电压加在第一电极装置上，在质量上，通过第一电极装置作用第一静电力，通过第二电极装置作用第二静电力，并通过质量的弹簧装置施加复位力，其中在第一静电力，第二静电力和复位力之间实现了力的平衡，而且质量占有一个表示了力平衡特征的偏离位置，测量表示了力平衡和偏离位置特征的输出信号，方法步骤b)，基于第一和第二偏离电压来计算传感器的灵敏度。本发明还涉及用于该方法的传感器。

公开(公告)号：CN104423380A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410654220.6

申请日：2014-08-26

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： M·L·A·迪布斯

IPC分类号： G05B23/02

CPC分类号： G02B26/0833 ,  B81B3/00 ,  B81C99/003 ,  G05B23/0259

摘要： 本发明公开一种用于匹配用于微机械执行器的调节器的参数的方法，所述方法具有以下步骤：给所述微机械执行器施加具有阶跃的测试信号，检测所述微机械执行器对所述测试信号的测试信号响应，辨识所检测的测试信号响应中的至少一个模态的绝对位置，基于所辨识的、至少一个模态的绝对位置匹配所述调节器的参数中的至少一个。本发明还公开一种相应的设备。