公开(公告)号：CN107850555B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN201680039323.9

申请日：2016-06-28

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： A·T·比恩 ,  T·J·邓恩 ,  C·A·李 ,  M·J·特罗诺洛恩

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01B11/24

摘要： 一种用于测量基材(10)的目标区域的表面轮廓的设备(20)，所述设备(20)具有光源(22)以发射测量光束。分束元件(74)限定测量轴(OM)和参照轴(OR)。基材固定器(76)沿着测量轴设置目标区域，且使所述目标区域绕着与测量轴正交相交的倾斜轴(T)按照预定的倾斜角度(Tθ)偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度(Tθ)随测量光束波长而变化。成像传感器(40)记录由测量光束和参照光束产生的条纹图案。计算机从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在正交于倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编程的指令进一步根据频率分布来计算目标区域表面的轮廓变化。

公开(公告)号：CN107850555A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680039323.9

申请日：2016-06-28

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： A·T·比恩 ,  T·J·邓恩 ,  C·A·李 ,  M·J·特罗诺洛恩

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01B11/24

CPC分类号： G01B11/2441 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02044 ,  G01N21/9503 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/64 ,  G06T2207/30148

摘要： 一种用于测量基材(10)的目标区域的表面轮廓的设备(20)，所述设备(20)具有光源(22)以发射测量光束。分束元件(74)限定测量轴(OM)和参照轴(OR)。基材固定器(76)沿着测量轴设置目标区域，且使所述目标区域绕着与测量轴正交相交的倾斜轴(T)按照预定的倾斜角度(Tθ)偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度(Tθ)随测量光束波长而变化。成像传感器(40)记录由测量光束和参照光束产生的条纹图案。计算机从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在正交于倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编程的指令进一步根据频率分布来计算目标区域表面的轮廓变化。