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公开(公告)号：CN101907713B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201010196615.8
申请日：2010-06-03
申请人： 伽泽拉有限公司
发明人： J·考皮宁
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02032 , G01B9/02057
摘要： 本发明涉及一种测量相对运动的设备和方法。该测量设备包括用于发射光束的光源(110、210)、具有适合于反射光束的第一波阵面部分的反射表面(121、221)的移动元件(120、220)以及具有适合于反射光束的第二波阵面部分的反射表面(131、231)的参考元件(130、230)。该设备还包括检测装置(140、240)和处理装置(150、160、250、260)，所述检测装置(140、240)用于检测由从移动元件和参考元件反射的光产生的空间干涉图中的变化，所述处理装置(150、160、250、260)用于从被检测的空间干涉图中的相位变化计算移动元件和参考元件之间的相对运动。
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公开(公告)号：CN101907713A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010196615.8
申请日：2010-06-03
申请人： 伽泽拉有限公司
发明人： J·考皮宁
CPC分类号： G01B9/02032 , G01B9/02057
摘要： 本发明涉及一种测量相对运动的设备和方法。该测量设备包括用于发射光束的光源(110、210)、具有适合于反射光束的第一波阵面部分的反射表面(121、221)的移动元件(120、220)以及具有适合于反射光束的第二波阵面部分的反射表面(131、231)的参考元件(130、230)。该设备还包括检测装置(140、240)和处理装置(150、160、250、260)，所述检测装置(140、240)用于检测由从移动元件和参考元件反射的光产生的空间干涉图中的变化，所述处理装置(150、160、250、260)用于从被检测的空间干涉图中的相位变化计算移动元件和参考元件之间的相对运动。
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公开(公告)号：CN100523717C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN03823744.X
申请日：2003-07-28
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02022 , G01B9/02025 , G01B9/02032 , G01B9/02084
摘要： 通过修改成可区分含两种信息的重迭干涉图案的掠入角干涉仪，有关透射平面平行试样的平直度和厚度变化信息。改变干涉仪的掠射角，可识别重迭干涉图案内独特的局部干涉带强度的调制频率。基于不同干涉图案的局部干涉带强度可按其各自的调制频率区分。
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公开(公告)号：CN104121851B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201410170082.4
申请日：2014-04-25
申请人： 沃柯有限公司
发明人： 不公告发明人
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/2441 , A61B6/145 , G01B9/02001 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/02067 , G01N21/211 , G01N21/453 , G01N2021/213 , G01S7/4815 , G01S17/36 , G02B5/32 , G02B21/367 , G03H1/0005 , G03H1/0443 , G03H1/0465 , G03H1/0486 , G03H1/2645 , G03H1/265 , G03H1/32 , G03H2001/0033 , G03H2001/0212 , G03H2001/0445 , G03H2001/046 , G03H2001/0491 , G03H2001/266 , G03H2210/63 , G03H2222/13 , G03H2222/16 , G03H2222/17 , G03H2222/31 , G03H2222/34 , G03H2222/35 , G03H2222/44 , G03H2223/19 , G03H2223/22 , G03H2223/23
摘要： 用于检测对象的3D结构的设备，包括：第一激光发射器，其产生具有第一波长的激光辐射；第二激光发射器，其产生具有第二波长的激光辐射，其中，第一波长不同于第二波长；光学器件，其中的至少一个是分束器，所述分束器在每种情况下将所述激光发射器的激光辐射分裂成参考辐射和照明辐射，其中，所述照明辐射撞击在要测量的对象上，被所述对象作为对象辐射反射并与参考辐射相干涉；以及检测器，其接收从其那里形成的干涉图。激光发射器被定位为使得第一激光发射器的照明辐射和第二激光发射器的照明辐射以不同的入射角撞击在对象上。设备还包括测量装置，其测量激光发射器的激光辐射的两个波长，并影响对干涉图的记录。
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公开(公告)号：CN100559170C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200510074295.8
申请日：2005-06-02
申请人： 富士能株式会社
发明人： 藤田宽
CPC分类号： G01B9/02091 , A61B5/0066 , A61B5/6852 , G01B9/02032 , G01N21/4795
摘要： 本发明是一种不需要移动参照镜的驱动机构，结构非常简易，而可以正确实行干涉信号的振幅探测的断层映像装置。干涉仪装置部以光照射光学系统部、信号光及参照光的导光部和杨氏干涉仪部构成，整体上形成不平衡型的Michelson干涉仪装置。光照射光学系统部包括光纤(121～124)、光耦合器(125)、两个光环行器(132，143)、设置在被测物体(131)的前段的导光构件(133)、准直透镜(141)和参照镜(142)构成。信号光及参照光的导光部由两个光纤(126，127)构成。杨氏干涉仪部具有拍摄可以把每一个当作点光源的光纤(126，127)的出射端(126A，127A)和支持被测物体的断层映像信息的干涉纹的多频探测器(152)。
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公开(公告)号：CN1246666C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN03145491.7
申请日：2003-07-01
申请人： 富士能株式会社
CPC分类号： G01B9/02084 , G01B9/02032 , G01B11/26
摘要： 本发明涉及一种样品倾斜的测量方法，这种方法在于，使具有平面形状前端面的柱状件处于由夹具夹持的状态，相对干涉仪转动一个预定角度，测定两个转动位置中每个位置的所述干涉仪的基准面和前端面之间的相对角度，根据如此测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的轴线倾斜度。
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公开(公告)号：CN1470848A
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN03145491.7
申请日：2003-07-01
申请人： 富士写真光机株式会社
CPC分类号： G01B9/02084 , G01B9/02032 , G01B11/26
摘要： 本发明涉及一种样品倾斜的测量方法，这种方法在于，使具有平面形状前端面的柱状件处于由夹具夹持的状态，相对干涉仪转动一个预定角度，测定两个转动位置中每个位置的所述干涉仪的基准面和前端面之间的相对角度，根据如此测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的轴线倾斜度。
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公开(公告)号：CN107850555A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680039323.9
申请日：2016-06-28
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02032 , G01B9/02044 , G01N21/9503 , G06T7/0006 , G06T7/64 , G06T2207/30148
摘要： 一种用于测量基材(10)的目标区域的表面轮廓的设备(20)，所述设备(20)具有光源(22)以发射测量光束。分束元件(74)限定测量轴(OM)和参照轴(OR)。基材固定器(76)沿着测量轴设置目标区域，且使所述目标区域绕着与测量轴正交相交的倾斜轴(T)按照预定的倾斜角度(Tθ)偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度(Tθ)随测量光束波长而变化。成像传感器(40)记录由测量光束和参照光束产生的条纹图案。计算机从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在正交于倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编程的指令进一步根据频率分布来计算目标区域表面的轮廓变化。
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公开(公告)号：CN102279555B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201110085860.6
申请日：2011-04-02
申请人： 理工学院
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G03H1/04 , G03H1/0443 , G03H1/06 , G03H2001/0083 , G03H2001/0456 , G03H2001/0467 , G03H2222/24 , G03H2223/23
摘要： 一种具有空间载频的能够以多色辐射进行成像的干涉仪系统，借助于输出成像装置经由由反射器构成的透射系统将物体分支的成像装置的像平面成像至输出平面，并且同时在参考分支的成像装置的像平面中设置反射型衍射光栅，反射型衍射光栅由输出成像装置经由由反射器构成的透射系统也成像至干涉仪的输出平面，其中来自物体分支和参考分支的波的干涉形成消色差轴全息图，并且其中设置检测器。所述两个由反射器构成的透射系统调节为使得两个分支的轴在输出平面的入口重合，并且平行于输出平面的法线，并且由反射型衍射光栅以角α衍射的轴束以角β进入输出平面，β和α之间的关系是sin(β)＝sin(α)/m，其中m是输出成像装置的放大率。
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公开(公告)号：CN102279555A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110085860.6
申请日：2011-04-02
申请人： 理工学院
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G03H1/04 , G03H1/0443 , G03H1/06 , G03H2001/0083 , G03H2001/0456 , G03H2001/0467 , G03H2222/24 , G03H2223/23
摘要： 一种具有空间载频的能够以多色辐射进行成像的干涉仪系统，借助于输出成像装置经由由反射器构成的透射系统将物体分支的成像装置的像平面成像至输出平面，并且同时在参考分支的成像装置的像平面中设置反射型衍射光栅，反射型衍射光栅由输出成像装置经由由反射器构成的透射系统也成像至干涉仪的输出平面，其中来自物体分支和参考分支的波的干涉形成消色差轴全息图，并且其中设置检测器。所述两个由反射器构成的透射系统调节为使得两个分支的轴在输出平面的入口重合，并且平行于输出平面的法线，并且由反射型衍射光栅以角α衍射的轴束以角β进入输出平面，β和α之间的关系是sin(β)＝sin(α)/m，其中m是输出成像装置的放大率。
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