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公开(公告)号：CN106133899A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201480068280.8
申请日：2014-10-14
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/48
摘要： 经由表面改性层(30)将薄片(20)布置在载体(10)上，以形成制品(2)，其中，制品可经受高温加工(如FEOL半导体加工)，而不发生脱气并且将薄片维持在载体上，不在加工过程中发生分离，但是在室温剥离作用力之后发生分离，使得薄片和载体中较薄的那个保持完好。可以在薄片上形成具有孔(60)的阵列(50)的插入物(56)，装置(66)形成在插入物上。或者，薄片可以是基材，在FEOL加工期间，在其上形成半导体电路。
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公开(公告)号：CN110461784A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880013996.6
申请日：2018-02-23
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 一种玻璃晶片(100)，其具有第一主表面(110)，与第一主表面(110)平行且相对的第二主表面(120)，在第一主表面(110)与第二主表面(120)之间的厚度，以及环状边缘部分(130)，其从玻璃晶片(100)的最外直径延伸向玻璃晶片(100)的几何中心。玻璃晶片(100)的直径大于或等于175mm至小于或等于325mm，并且厚度小于0.350mm。边缘部分(130)的宽度小于10mm。
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公开(公告)号：CN106133899B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201480068280.8
申请日：2014-10-14
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/48
摘要： 经由表面改性层(30)将薄片(20)布置在载体(10)上，以形成制品(2)，其中，制品可经受高温加工(如FEOL半导体加工)，而不发生脱气并且将薄片维持在载体上，不在加工过程中发生分离，但是在室温剥离作用力之后发生分离，使得薄片和载体中较薄的那个保持完好。可以在薄片上形成具有孔(60)的阵列(50)的插入物(56)，装置(66)形成在插入物上。或者，薄片可以是基材，在FEOL加工期间，在其上形成半导体电路。
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公开(公告)号：CN105228788A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201380071736.1
申请日：2013-11-27
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： B23K26/18 , B23K26/38 , B23K26/402
摘要： 一种通过钻孔在基材中形成多个精密孔的方法，所述方法包括：将牺牲覆盖层固定到基材的表面；将激光束放置在相对于基材的预定位置，并且该预定位置对应于多个精密孔的一个的所需位置；通过在预定位置进行激光束的重复脉冲在牺牲覆盖层中形成通孔；以及在预定位置使得激光束脉冲进入牺牲覆盖层中形成的通孔。一种具有精密孔的工件，所述工件包括：基材，所述基材具有形成在其中的精密孔，其中，各个精密孔的纵轴以基材的厚度方面延伸；以及牺牲覆盖层，所述牺牲覆盖层可拆卸地固定到基材的表面，从而牺牲覆盖层降低了精密孔的不规则性。
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公开(公告)号：CN107835794A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680040825.3
申请日：2016-07-08
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03B33/02 , B23K26/00 , B23K26/53 , B23K26/38 , B23K26/382 , C03C15/00 , C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/48 , H01L23/538
CPC分类号： B32B3/266 , B23K26/0604 , B23K26/53 , B23K2103/54 , B32B17/06 , B32B2307/412 , C03B33/0222 , C03C15/00 , C03C17/06 , H01L21/486 , H01L23/15 , H01L23/49827 , Y02P40/57
摘要： 本文提供了在目标基材中进行切割和钻孔的系统和方法，所述系统和方法使用激光(例如脉冲激光)和光学系统来在诸如玻璃基材板这样的目标基材内生成激光束的线聚焦。激光切割和钻孔系统和方法利用各个体激光脉冲生成在某些实施方式中延伸穿过玻璃板整个厚度的孔或缺陷，并且允许激光系统通过生成一系列形成轮廓或所需部件形状的孔眼来将目标基材切割和分离成任意所需的轮廓。由于玻璃基材板是脆性的，随着打孔的轮廓将会发生开裂，允许玻璃基材板分离成由孔眼限定的任意所需形状。
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公开(公告)号：CN107112279A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580072215.7
申请日：2015-11-05
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/48 , C25D1/04 , C25D5/02 , C25D7/12
CPC分类号： H05K3/0094 , C25D1/04 , C25D5/022 , C25D7/123 , H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/15 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H05K3/423 , H01L2924/00
摘要： 本文公开了一种从下往上的电解导通镀覆方法，其中第一载体基材(100)和具有至少一个通孔(120)的第二基材(110)被临时结合在一起。所述方法包括在第一基材的表面上施涂种子层(108)；在所述种子层或所述第二基材上形成表面改性层(114)；用所述表面改性层将所述第二基材与所述第一基材结合以形成组件，其中所述种子层和所述表面改性层被设置在所述第一基材和所述第二基材之间；将导电材料(122)施涂到所述通孔；从所述组件中除去具有包含导电材料的通孔的所述第二基材。
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公开(公告)号：CN111226157B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201880066623.5
申请日：2018-10-11
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 一种增强现实光学系统，包括波导结构，该波导结构包括由基板支持的波导层。输入光栅和输出光栅位于波导层内并且横向间隔开。使来自显示器的输入光入射到输入光栅上。输入光耦合到波导层中并且作为多个导模在波导层中行进到输出光栅。输入光栅和输出光栅提供相位匹配，使得由输出光栅沿输出光栅连续地将导模耦合出波导层，以形成输出光。同时，来自场景的光垂直地传输通过输出光栅，使得输出光和来自场景的光由用户的眼睛进行组合以形成增强现实图像。
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公开(公告)号：CN111226157A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201880066623.5
申请日：2018-10-11
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 一种增强现实光学系统，包括波导结构，该波导结构包括由基板支持的波导层。输入光栅和输出光栅位于波导层内并且横向间隔开。使来自显示器的输入光入射到输入光栅上。输入光耦合到波导层中并且作为多个导模在波导层中行进到输出光栅。输入光栅和输出光栅提供相位匹配，使得由输出光栅沿输出光栅连续地将导模耦合出波导层，以形成输出光。同时，来自场景的光垂直地传输通过输出光栅，使得输出光和来自场景的光由用户的眼睛进行组合以形成增强现实图像。
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