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公开(公告)号：CN104541365A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380017841.7
申请日：2013-02-07
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： A·A·阿布拉莫夫 , R·A·贝尔曼 , D·C·布克宾德 , 庄大可 , J·J·多梅 , D·G·阿尼克斯 , L·加斯基尔 , K·C·康 , M·W·凯默尔 , 郭冠廷 , 林仁杰 , R·G·曼利 , J·C·托马斯 , 曾珮琏 , J-Z·J·张
IPC分类号： H01L21/50
CPC分类号： C03C27/10 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B32B7/06 , B32B17/06 , B65G2249/02 , C03B33/07 , C03B33/091
摘要： 一种从通过键合区域(40)键合到载体(10)的薄板移除薄板(20)的所需部分的方法，所述键合区域(40)围绕非键合区域(50)，所述方法包括：形成周界通气孔(60)，所述周界通气孔限定所需部分(56)的周界，其中所述周界通气孔设置在所述非键合区域内且深度≥所述薄板厚度(22)的50％。在移除所需部分之前，可将装置加工到薄板上。在某些工艺中，切割载体，从而其可以更小尺寸加工，仍保持气密密封边缘。切割后，可将装置的附加部分加工到薄板上，并通过从载体移除薄板的所需部分而移除所需部分。
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公开(公告)号：CN104541365B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201380017841.7
申请日：2013-02-07
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： A·A·阿布拉莫夫 , R·A·贝尔曼 , D·C·布克宾德 , 庄大可 , J·J·多梅 , D·G·阿尼克斯 , L·加斯基尔 , K·C·康 , M·W·凯默尔 , 郭冠廷 , 林仁杰 , R·G·曼利 , J·C·托马斯 , 曾珮琏 , J-Z·J·张
IPC分类号： H01L21/50
CPC分类号： C03C27/10 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B32B7/06 , B32B17/06 , B65G2249/02 , C03B33/07 , C03B33/091
摘要： 一种从通过键合区域(40)键合到载体(10)的薄板移除薄板(20)的所需部分的方法，所述键合区域(40)围绕非键合区域(50)，所述方法包括：形成周界通气孔(60)，所述周界通气孔限定所需部分(56)的周界，其中所述周界通气孔设置在所述非键合区域内且深度≥所述薄板厚度(22)的50％。在移除所需部分之前，可将装置加工到薄板上。在某些工艺中，切割载体，从而其可以更小尺寸加工，仍保持气密密封边缘。切割后，可将装置的附加部分加工到薄板上，并通过从载体移除薄板的所需部分而移除所需部分。
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公开(公告)号：CN107097004A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710300627.2
申请日：2013-02-07
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： A·A·阿布拉莫夫 , R·A·贝尔曼 , D·C·布克宾德 , 庄大可 , J·J·多梅 , D·G·阿尼克斯 , L·加斯基尔 , K·C·康 , M·W·凯默尔 , 郭冠廷 , 林仁杰 , R·G·曼利 , J·C·托马斯 , 曾珮琏 , J-Z·J·张
CPC分类号： C03C27/10 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B32B7/06 , B32B17/06 , B65G2249/02 , C03B33/07 , C03B33/091
摘要： 本发明涉及切割设备及切割方法。切割设备，包括：头部，所述头部具有多个孔；激光源，所述激光源联接到所述多个孔中的第一孔从而将激光束输送通过所述第一孔；以及冷却流体源，所述冷却流体源与所述多个孔中的至少第二孔和至少第三孔流体连通，其中从所述第一孔延伸到所述第二孔的第一线相对于从所述第一孔延伸到所述第三孔的第二线以第一角度设置。
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