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公开(公告)号：CN112639613A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980057695.8
申请日：2019-07-26
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 本文所公开的方法包括在接近垂直的第一测量位置处和第二测量位置处记录光掩模表面的相应的第一干涉图和第二干涉图，并将差图定义为该第一干涉图和该第二干涉图之间的差。在该第一测量位置处和该第二测量位置处还测量了该光掩模上的相应的第一法向力和第二法向力。法向力的变化用于定义缩放因子，该缩放因子被应用于差图以定义经缩放的差图。通过从该第一干涉图中减去经缩放的差图来获取由重力引起的形状贡献得以减少的经补偿平坦度测量值。还公开了基于干涉仪的平坦度测量系统。
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公开(公告)号：CN102725696B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201080052464.7
申请日：2010-11-10
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70308 , G02B15/00 , G02B27/0025 , G02B27/0043 , G03F7/70266
摘要： 在平版印刷投影系统中，呈一个或多个可变形板形式的纠正光学器件安装在焦阑的像空间或物空间内，以对放大作出一维或二维的调整。可变形板可在预加载影响下先实施弯曲，该可变形板有利于弱的放大率，其通过改变物空间或像空间内的有效焦距来影响投影系统的放大。致动器调整曲率量，可变形板通过该调整而弯曲，以调节由可变形板赋予的放大量。
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公开(公告)号：CN105122117A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480021737.X
申请日：2014-04-14
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： B23P19/04 , B23P11/00 , G02B7/003 , G02B7/004 , G02B7/025 , G02B7/026 , G02B27/0012 , G02B27/62 , G03F7/70825 , G03F7/70975 , Y10T29/49769 , Y10T29/49771 , Y10T29/4978
摘要： 从用于分隔、对准以及保持组件内的光学元件的多个堆叠元件构建复合光学组件。堆叠元件的堆叠面被测量，并且低阶表面误差被提取，由具有主角频率的数学近似来表示。包括光学支架的堆叠元件相对取向以提升配合堆叠面的低阶表面误差之间的互补性。
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公开(公告)号：CN102725696A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201080052464.7
申请日：2010-11-10
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70308 , G02B15/00 , G02B27/0025 , G02B27/0043 , G03F7/70266
摘要： 在平版印刷投影系统中，呈一个或多个可变形板形式的纠正光学器件安装在焦阑的像空间或物空间内，以对放大作出一维或二维的调整。可变形板可在预加载影响下先实施弯曲，该可变形板有利于弱的放大率，其通过改变物空间或像空间内的有效焦距来影响投影系统的放大。致动器调整曲率量，可变形板通过该调整而弯曲，以调节由可变形板赋予的放大量。
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公开(公告)号：CN112639613B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201980057695.8
申请日：2019-07-26
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 本文所公开的方法包括在接近垂直的第一测量位置处和第二测量位置处记录光掩模表面的相应的第一干涉图和第二干涉图，并将差图定义为该第一干涉图和该第二干涉图之间的差。在该第一测量位置处和该第二测量位置处还测量了该光掩模上的相应的第一法向力和第二法向力。法向力的变化用于定义缩放因子，该缩放因子被应用于差图以定义经缩放的差图。通过从该第一干涉图中减去经缩放的差图来获取由重力引起的形状贡献得以减少的经补偿平坦度测量值。还公开了基于干涉仪的平坦度测量系统。
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公开(公告)号：CN105705978B
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201480060683.8
申请日：2014-09-02
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。一种方法，包括：应用光吸收剂，该光吸收剂不向透镜透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及配置该光吸收剂和该粘合剂从而使得所吸收的光无法入射至该粘合剂。
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公开(公告)号：CN105122117B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201480021737.X
申请日：2014-04-14
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： B23P19/04 , B23P11/00 , G02B7/003 , G02B7/004 , G02B7/025 , G02B7/026 , G02B27/0012 , G02B27/62 , G03F7/70825 , G03F7/70975 , Y10T29/49769 , Y10T29/49771 , Y10T29/4978
摘要： 从用于分隔、对准以及保持组件内的光学元件的多个堆叠元件构建复合光学组件。堆叠元件的堆叠面被测量，并且低阶表面误差被提取，由具有主角频率的数学近似来表示。包括光学支架的堆叠元件相对取向以提升配合堆叠面的低阶表面误差之间的互补性。
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公开(公告)号：CN105705978A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480060683.8
申请日：2014-09-02
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： G02B1/14 , B32B37/14 , B32B37/26 , F21V5/04 , G02B1/105 , G02B1/11 , G02B5/208 , G02B5/22 , G02B7/025 , Y10T156/10
摘要： 一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。一种方法，包括：应用光吸收剂，该光吸收剂不向透镜透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及配置该光吸收剂和该粘合剂从而使得所吸收的光无法入射至该粘合剂。
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