公开(公告)号：CN108603277A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009636.4

申请日：2017-02-03

申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 ,  CTF太阳能有限公司

发明人： H.莫格纳 ,  C.梅茨纳 ,  D.希尔施 ,  O.齐维茨基 ,  L.德克 ,  T.维尔纳 ,  B.西普兴 ,  B.施珀特 ,  K.韦拉潘 ,  C.克拉夫特 ,  C.德罗斯特

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/56 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/20 ,  C23C14/00 ,  C23C16/30

摘要： 本发明涉及用于通过物理气相沉积在真空室（1）内将CdTe-层沉积在基材（2）上的方法，其中将基材（2）在沉积过程之前加热至涂覆温度和然后沿着至少一个容器（3）传送，在该容器中将CdTe（4）转化为蒸气状态，其中通过至少一个入口（5）将气态组分以（相对于真空室中的真空）提高的压力流向基材（2）的待涂覆的表面，从而在将基材（2）沿着至少一个容器（3）传送之前，将所述气态组分吸附在基材（2）的待涂覆的表面上。

公开(公告)号：CN108603277B

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201780009636.4

申请日：2017-02-03

申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 ,  CTF太阳能有限公司

发明人： H.莫格纳 ,  C.梅茨纳 ,  D.希尔施 ,  O.齐维茨基 ,  L.德克 ,  T.维尔纳 ,  B.西普兴 ,  B.施珀特 ,  K.韦拉潘 ,  C.克拉夫特 ,  C.德罗斯特

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/56 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/20 ,  C23C14/00 ,  C23C16/30

摘要： 本发明涉及用于通过物理气相沉积在真空室（1）内将CdTe‑层沉积在基材（2）上的方法，其中将基材（2）在沉积过程之前加热至涂覆温度和然后沿着至少一个容器（3）传送，在该容器中将CdTe（4）转化为蒸气状态，其中通过至少一个入口（5）将气态组分以（相对于真空室中的真空）提高的压力流向基材（2）的待涂覆的表面，从而在将基材（2）沿着至少一个容器（3）传送之前，将所述气态组分吸附在基材（2）的待涂覆的表面上。