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发明公开
具有过滤器的容器无效

公开(公告)号：CN108570657A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810346480.5

申请日：2013-05-27

申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司

发明人： C·M·伯特彻 , T·A·斯特德尔 , 雷新建 , S·V·伊瓦诺夫

IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448 , C23C16/455 , H01L21/02 , B01D7/00

摘要： 一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。本发明还公开了使用该设备的方法。