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发明公开
一种高频探针卡的零位检测装置审中-公开

公开(公告)号：CN118884031A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410904925.2

申请日：2024-07-08

申请人： 强一半导体(苏州)股份有限公司

发明人： 凌欲豪 , 张文博 , 赵梁玉 , 于海超

IPC分类号： G01R19/175 , G01R1/073 , G01R1/04

摘要： 本发明公开一种高频探针卡的零位检测装置，检测装置包括：探针卡固定架，用于固定待测的针卡本体；零位校准机构，用于夹持待测探针卡的限位杆并带动其转动，零位校准机构包括一对位调整机构以及固定在对位调整机构上的驱动机构，驱动机构的端部传动连接一旋转轴，旋转轴的前端设置有与限位杆可分离地连接的连接部；电控箱，被配置为向待测探针卡的零位杆与等零位杆之间施加电压，驱动旋转轴转动，测量零位杆与等零位杆之间流过的电流大小，并基于该电流大小进行零位报警。本申请的检测装置能够实现自动查找高频探针卡的零位，以及完成探针卡的疲劳检测。