公开(公告)号：CN104704335B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201380052765.3

申请日：2013-09-24

Applicant: 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

Inventor： 伊戈尔·格特曼 ,  托马斯·林克 ,  彼得·诺门森 ,  拉斐尔·泰伊朋

IPC: G01L19/06 ,  G01L9/00 ,  B81C1/00 ,  G01L13/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B81B3/0027 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00531 ,  G01L9/0073 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618

Abstract: 本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。

公开(公告)号：CN104704335A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380052765.3

申请日：2013-09-24

Applicant: 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

Inventor： 伊戈尔·格特曼 ,  托马斯·林克 ,  彼得·诺门森 ,  拉斐尔·泰伊朋

IPC: G01L19/06 ,  G01L9/00 ,  B81C1/00 ,  G01L13/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B81B3/0027 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00531 ,  G01L9/0073 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618

Abstract: 本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。