公开(公告)号：CN109311656A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780037218.6

申请日：2017-05-17

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·赖因穆特

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0043 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/04 ,  G01L9/0072

Abstract: 本发明涉及一种用于压力传感器设备的微机械构件，具有在衬底(10)撑开并且能够借助于在所述衬底(10)的第一衬底侧和所述衬底(10)的第二衬底侧之间的压力差拱曲的膜片(12)，和摆杆结构(14)，该摆杆结构与所述膜片(12)如此连接，使得所述摆杆结构(14)能够借助于所述膜片(12)的拱曲围绕第一旋转轴线(16)移位，其中，摆杆结构(14)通过杠杆结构(18)与所述膜片(12)如此连接，使得所述膜片(12)的拱曲触发所述杠杆结构(18)围绕平行于所述第一旋转轴线(16)定向并且与该第一旋转轴线间隔开的第二旋转轴线(20)的旋转运动，并且所述杠杆结构(18)围绕所述第二旋转轴线(20)的旋转运动触发所述摆杆结构(18)围绕所述第一旋转轴线(16)的另外的旋转运动。此外，本发明涉及一种压力传感器设备和一种用于压力传感器设备的微机械构件的制造方法。

公开(公告)号：CN109253827A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201810640977.8

申请日：2018-06-21

Applicant: 森萨塔科技公司

Inventor： B·K·汉莱

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12

CPC classification number: G01L1/14 ,  G01L9/0072 ,  G01L1/142 ,  G01L9/0075 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明涉及具有为增强电容响应而构造的玻璃阻挡物材料的压力感测元件。通过在改善的电容感测元件的空气间隙中包括玻璃层来提高对所施加的压力电容响应的方法。相比于先前已知的电容感测元件，玻璃层具有额外的厚度。选择额外的厚度以跨电极之间的间隙实现介电常数预定的增加。在说明性的实施方案中，所得的电容感测元件包含具有在电极之间的两种介电介质，空气和玻璃，其中间隙中玻璃介质的厚度和剩余的空气间隙的厚度是基于玻璃和空气的介电常数而预定的，以实现感测器设计的所需要的电容响应特征。

公开(公告)号：CN109141728A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810788069.3

申请日：2018-07-18

Applicant: 江苏大学

Inventor： 郝秀春 ,  李宇翔 ,  汪赟 ,  蒋纬涵 ,  陈忠位

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072

Abstract: 本发明提供一种感压膜中间固定式电容压力传感器及制作方法，涉及到MEMS领域。该压力传感器由基底100、感压膜102、真空腔101、电极201和电极203构成，其中基底、真空腔和感压膜为一个整体。当感压膜受到压力时会产生变形，使感压膜102与电极板202之间的距离发生改变，导致二者之间的电容发生变化，通过电极201和电极203检测电容。本发明的基底100、感压膜102、真空腔由紫外光刻、干法刻蚀和真空高温退火工艺一次形成，无需真空密封工艺，提高稳定性、可靠性；本发明的感压膜由中间固定支柱固定在基底上，可在很大的压力范围内均具有很好的线性度，扩大传感器的使用量程。

公开(公告)号：CN105136378B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201510617530.5

申请日：2015-09-24

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  北京京东方光电科技有限公司

Inventor： 杨久霞 ,  邱云 ,  王志东

IPC: G01L9/12 ,  G01L19/08

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L9/08 ,  G01L9/12 ,  G01L19/083 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/322 ,  H01L27/3225 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3262 ,  H01L27/3276 ,  H01L51/5284 ,  H01L2227/323

Abstract: 本发明实施例提供一种显示基板及显示装置、压力检测系统及其检测方法，涉及显示技术领域，能够将环境压力测试功能集成于显示基板中，以提高人们外出时物品携带的便利性。其中，显示基板包括衬底基板，以及位于所述衬底基板上的用于测试环境压力的压力传感结构，压力传感结构包括相对设置的第一压敏电极和第二压敏电极，以及位于第一压敏电极和第二压敏电极之间的多个间隔设置的绝缘支柱；第一压敏电极与衬底基板相接触。

公开(公告)号：CN104977103B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201510161531.3

申请日：2015-04-07

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： D.哈默施密特

IPC: G01L1/14

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B81B3/0059 ,  G01L1/086 ,  G01L1/144

Abstract: 用于压力传感器的力反馈环路。压力传感器系统包括力反馈环路。力反馈环路被配置成接收测量压力传感器信号并基于测量压力和静电力而生成反馈信号。基于反馈信号而生成静电力并将其与测量力组合，保持所得到的传感器信号稳定。

公开(公告)号：CN104949790B

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201510146420.5

申请日：2015-03-31

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫 ,  A.韦斯鲍尔

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0073 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0052 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0082 ,  G01L9/08 ,  G01L9/085 ,  H04R1/08 ,  H04R2201/003

Abstract: 本发明涉及动态压力传感器。根据各种实施例，动态压力传感器包括基板、形成在基板中的参考体积、密封参考体积的可挠曲膜、耦合到膜并且被配置为测量膜的挠曲的挠曲感测元件，和被配置为使参考体积内的绝对压力与参考体积外的绝对周围压力均衡的通风孔。

公开(公告)号：CN104848982B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201510290391.X

申请日：2015-05-29

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 郑国光

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/12 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618

Abstract: 本发明公开了一种准差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法，前者包括第一下电极(3a)和第二下电极(3b)，及对应支撑在第一下电极(3a)上方和第二下电极(3b)上方的第一上电极(4a)和第二上电极(4b)；第一上电极(4a)为压力敏感膜，且第一上电极(4a)与第一下电极(3a)之间的腔体为密闭腔体(9a)，以使第一上电极(4a)与第一下电极(3a)构成气压敏感型电容器；第二上电极(4b)与第二下电极(3b)构成电容量不随外界气压变化的基准电容器。本发明压力传感器利用基准电容器可以至少部分地滤除气压敏感型电容器的输出信号中的共模干扰信号，进而提高气压敏感型电容器的输出信号的稳定性及分辨率。

公开(公告)号：CN104704335B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201380052765.3

申请日：2013-09-24

Applicant: 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

Inventor： 伊戈尔·格特曼 ,  托马斯·林克 ,  彼得·诺门森 ,  拉斐尔·泰伊朋

IPC: G01L19/06 ,  G01L9/00 ,  B81C1/00 ,  G01L13/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0072 ,  B81B3/0027 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00531 ,  G01L9/0073 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618

Abstract: 本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。

公开(公告)号：CN104833454B

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：CN201510005245.8

申请日：2015-01-06

Applicant: VEGA格里沙贝两合公司

Inventor： J·雅各布

IPC: G01L11/00 ,  G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L9/12 ,  G01L19/0092 ,  G01L19/02

Abstract: 本发明涉及一种压力测量变换器，该压力测量变换器具有压力测量单元、位置传感器和评价单元，该评价单元包括至少一个信号处理单元和用于得出位置误差的位置修正单元，其中，所述至少一个位置传感器相对于压力测量单元不可运动地设置，其中，所述压力测量单元与信号处理单元电连接，并且所述至少一个位置传感器与位置修正单元电连接，其中，由信号处理单元提供从由压力测量单元提供的信号得出的第一信号，由位置传感器提供第二信号，并且由位置修正单元提供从所述第一和第二信号得出的输出信号。本发明还涉及一种用于以按照本发明的压力测量变换器来确定压力的方法。

公开(公告)号：CN107340093A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710540011.2

申请日：2017-07-05

Applicant: 成都众山科技有限公司

Inventor： 李强 ,  张建清 ,  彭恩文

IPC: G01L9/04 ,  G01L9/00 ,  G01L19/06

CPC classification number: G01L9/04 ,  G01L9/0072 ,  G01L19/06

Abstract: 本发明公开了一种防止测试导管内形成沉积的压力变送器装置，包括：下端盖、过滤网、压力变送器，过滤网安装在压力变送器的测量导管的入口处，下端盖右端与测量导管的入口左端铰链连接，测量导管的右侧管壁内开设有竖直通孔，通孔内设有移动活塞，操作杆下端与移动活塞上端连接，操作杆上端延伸至测量导管外，牵引绳一端与移动活塞下端连接，牵引绳另一端延伸至通孔外与下端盖左端连接；下端盖尺寸与过滤网尺寸匹配，下端盖上表面与过滤网的网孔对应处竖直固定有钢钉，网孔与钢钉一一对应，实现了通过过滤网防止渣滓进入测试导管，进而防止测试导管内形成沉积，并且能够对过滤网上的沉积进行清除，保障长期测量准确性的技术效果。