压力测量装置及其生产方法

    公开(公告)号:CN112262303B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN201980038850.1

    申请日:2019-05-23

    摘要: 本发明涉及包括陶瓷压力传感器(1)的压力测量装置,该压力测量装置包括陶瓷测量膜(3)和传感器固定装置,通过该传感器固定装置,所述压力传感器(1)被固定,使得在待测量的压力(p)下的介质能够施加到测量膜(3)区域,该测量膜区域在外部在所有侧上都被所述测量膜(3)的膜边缘(5)围绕。所述传感器固定装置包括由钛或钛合金制成的固定元件(9),其具有开口(11),通过该开口,在待测量的所述压力(p)下的所述介质能够通过施加到所述膜区域。根据本发明,提高了所述压力测量装置的耐腐蚀性,因为所述测量膜(3)的所述膜边缘(5)通过扩散焊接部(7)而被直接连接到所述传感器固定装置的所述固定元件(9),其中所述扩散焊接部(7)是使用扩散焊接方法产生的扩散焊接部(7),并且通过该扩散焊接部,在扩散焊接方法期间作为单独部件提供的所述测量膜(3)被连接到所述固定元件(9)。