组合传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105181794B

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201510333871.X

    申请日:2015-06-16

    IPC分类号: G01N29/02

    摘要: 一个示例公开了一种组合传感器,包括:具有致动器的压力传感器,所述致动器具有第一谐振频率;腔体,与压力传感器耦合并且能够容纳物质;其中在不存在所述物质的情况下,所述腔体响应于致动器的激励而具有第二谐振频率;其中在存在物质的情况下,所述腔体响应于致动器的激励具有第三谐振频率;其中第一谐振频率与第二和第三谐振频率不同;以及传感器电路,所述传感器电路响应于腔体中的第三谐振频率输出检测到物质的信号。