声表面波传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106404919A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610727889.2

    申请日:2016-08-25

    发明人: 徐静波 张海英

    IPC分类号: G01N29/24

    摘要: 本发明提供一种声表面波传感器,所述传感器由Si衬底、SiO2缓冲层、换能器IDT、ZnO薄膜组成多层结构,所述多层结构从上之下依次为ZnO薄膜、换能器IDT、SiO2缓冲层及Si衬底,所述换能器IDT为同心环形结构。本发明能够有效减少声表面波向自由空间的衍射现象,减少压电基片各向异性对声电转换的影响,从而提高声电转换效率;同时可以用于生物检测的液相检测环境。