公开(公告)号：CN101960579A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106688.9

申请日：2009-12-15

申请人： 恪纳腾公司

发明人： G·赵 ,  G·H·扎帕拉克 ,  S·S·H·恩盖 ,  M·维茨-依拉凡尼 ,  A·利维 ,  V·达玛蒂卡利

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L31/042

CPC分类号： G06T7/001 ,  G01N25/72 ,  G02F1/1309 ,  G06T2207/10048 ,  G06T2207/30148

摘要： 为提高检查吞吐量，可以以一恒定速度在试样上移动红外摄像装置的视场。在该移动的整个过程中，可以向所述试样提供调制并且使用所述红外摄像装置获取红外图像。移动所述视场、提供所述调制以及获取所述红外图像可以是同步的。所述红外图像可以被滤波以生成时间延迟锁相热成像，从而提供缺陷识别。该滤波操作可以决定所述红外摄像装置在扫描方向上的像素数。对于光学调制的情况，可以在移动的整个过程中为所述视场提供暗场区域，由此在滤波期间提供改善的信噪比。局部的缺陷可以由被集成到所述检测系统的激光器修复或由墨水标记以在生产线上稍后修复。

公开(公告)号：CN101960579B

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN200980106688.9

申请日：2009-12-15

申请人： 恪纳腾公司

发明人： G·赵 ,  G·H·扎帕拉克 ,  S·S·H·恩盖 ,  M·维茨-依拉凡尼 ,  A·利维 ,  V·达玛蒂卡利

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L31/042

CPC分类号： G06T7/001 ,  G01N25/72 ,  G02F1/1309 ,  G06T2207/10048 ,  G06T2207/30148

摘要： 为提高检查吞吐量，可以以一恒定速度在试样上移动红外摄像装置的视场。在该移动的整个过程中，可以向所述试样提供调制并且使用所述红外摄像装置获取红外图像。移动所述视场、提供所述调制以及获取所述红外图像可以是同步的。所述红外图像可以被滤波以生成时间延迟锁相热成像，从而提供缺陷识别。该滤波操作可以决定所述红外摄像装置在扫描方向上的像素数。对于光学调制的情况，可以在移动的整个过程中为所述视场提供暗场区域，由此在滤波期间提供改善的信噪比。局部的缺陷可以由被集成到所述检测系统的激光器修复或由墨水标记以在生产线上稍后修复。