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公开(公告)号：CN101960579A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106688.9
申请日：2009-12-15
申请人： 恪纳腾公司
IPC分类号： H01L21/66 , H01L31/042
CPC分类号： G06T7/001 , G01N25/72 , G02F1/1309 , G06T2207/10048 , G06T2207/30148
摘要： 为提高检查吞吐量，可以以一恒定速度在试样上移动红外摄像装置的视场。在该移动的整个过程中，可以向所述试样提供调制并且使用所述红外摄像装置获取红外图像。移动所述视场、提供所述调制以及获取所述红外图像可以是同步的。所述红外图像可以被滤波以生成时间延迟锁相热成像，从而提供缺陷识别。该滤波操作可以决定所述红外摄像装置在扫描方向上的像素数。对于光学调制的情况，可以在移动的整个过程中为所述视场提供暗场区域，由此在滤波期间提供改善的信噪比。局部的缺陷可以由被集成到所述检测系统的激光器修复或由墨水标记以在生产线上稍后修复。
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公开(公告)号：CN101960579B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN200980106688.9
申请日：2009-12-15
申请人： 恪纳腾公司
IPC分类号： H01L21/66 , H01L31/042
CPC分类号： G06T7/001 , G01N25/72 , G02F1/1309 , G06T2207/10048 , G06T2207/30148
摘要： 为提高检查吞吐量，可以以一恒定速度在试样上移动红外摄像装置的视场。在该移动的整个过程中，可以向所述试样提供调制并且使用所述红外摄像装置获取红外图像。移动所述视场、提供所述调制以及获取所述红外图像可以是同步的。所述红外图像可以被滤波以生成时间延迟锁相热成像，从而提供缺陷识别。该滤波操作可以决定所述红外摄像装置在扫描方向上的像素数。对于光学调制的情况，可以在移动的整个过程中为所述视场提供暗场区域，由此在滤波期间提供改善的信噪比。局部的缺陷可以由被集成到所述检测系统的激光器修复或由墨水标记以在生产线上稍后修复。
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公开(公告)号：CN102016525B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN200980116526.3
申请日：2009-05-07
申请人： 恪纳腾公司
CPC分类号： H01J37/244 , G01N2223/079 , G01N2223/086 , G01N2223/33 , H01J37/256 , H01J2237/24495 , H01J2237/2511 , H01J2237/2807
摘要： 具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。
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公开(公告)号：CN102016525A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980116526.3
申请日：2009-05-07
申请人： 恪纳腾公司
CPC分类号： H01J37/244 , G01N2223/079 , G01N2223/086 , G01N2223/33 , H01J37/256 , H01J2237/24495 , H01J2237/2511 , H01J2237/2807
摘要： 具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。
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