激光微加工及其方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1616178A

    公开(公告)日:2005-05-18

    申请号:CN200410094720.5

    申请日:2004-11-12

    IPC分类号: B23K26/00

    CPC分类号: B23K26/146

    摘要: 所述的实施例涉及激光微加工一块基板的方法。一种通常的方法包括将激光(410)对准基板(300)而在该基板(300)上至少部分地形成一细部(404)。该加工方法还包括在上述形成细部的至少部分过程内沿第一供液通道(b1)向上述细部(404)的至少一个第一区(508a)供给液体(422),并沿至少一条第二供液通道(b2)向上述细部(404)的至少一个不同的第二区(508b)供给液体(422)。

    激光微加工及其方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1616178B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200410094720.5

    申请日:2004-11-12

    IPC分类号: B23K26/00

    CPC分类号: B23K26/146

    摘要: 所述的实施例涉及激光微加工一块基板的方法。一种通常的方法包括将激光(410)对准基板(300)而在该基板(300)上至少部分地形成一细部(404)。该加工方法还包括在上述形成细部的至少部分过程内沿第一供液通道(b1)向上述细部(404)的至少一个第一区(508a)供给液体(422),并沿至少一条第二供液通道(b2)向上述细部(404)的至少一个不同的第二区(508b)供给液体(422)。