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公开(公告)号：CN119936950A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411913808.9
申请日：2024-12-24
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于电子探测器的闪烁体装置、电子探测器及扫描电子显微镜。闪烁体装置至少包括：第一闪烁体、第二闪烁体和供电单元，第一闪烁体和第二闪烁体采用特定方式组合，并且，第一闪烁体用于产生第一光信号，以使得电子探测器被调制成第一工作模式；第二闪烁体用于产生第二光信号，以使得电子探测器被调制成第二工作模式；供电单元包括第一供电线和第二供电线，其中供电单元经由第一供电线或第二供电线分别向第一闪烁体或第二闪烁体进行单独供电，使得电子探测器在第一工作模式和第二工作模式之间进行切换。利用本申请的方案，可以在不改变电子探测器结构的同时，能根据探测需求切换工作模式，满足不同探测任务需求。
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