-
公开(公告)号：CN118588520A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073108.3
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/26
Abstract: 本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆周的圆心与物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴，其装配面上设有多个沿同一圆周均匀分布的第二固定孔，通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在物镜磁体上并与物镜内极靴同轴，第二固定部件为可拆卸式固定部件。通过本申请实施例的方案，能够将物镜内极靴和物镜外极靴独立安装在物镜磁体上。在对中过程中，紧固操作所导致的回弹力和摩擦力不会经由物镜磁体作用到物镜内/外极靴，从而消除了橡胶圈对物镜内/外极靴的对中过程和装配过程的影响，有效地提高了对中精度和效率。
-
公开(公告)号：CN118588519A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073110.0
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于双束电镜的物镜结构及双束电镜。该物镜结构包括：物镜第一电极，其包括第一装配面和第一静电面；物镜第二电极，其包括第二装配面和第二静电面；物镜第三电极，其包括第三装配面和第三静电面；以及空心柱体，其轴线与物镜结构的轴线重合；其中，第一装配面、第二装配面和第三装配面沿物镜结构轴线的方向依次布置，第三装配面平行于第一装配面，且第三装配面与第一装配面装配在一起，从而使得物镜第一电极和物镜第三电极均处于地电位；第二装配面与第一装配面平行。本申请实施例能为物镜第一电极和物镜第二电极提供足够的爬电距离，使得整个物镜结构能够承受至少20kV的压差，从而降低双束电镜中离子束单元的击穿风险。
-
公开(公告)号：CN119943633A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510425101.1
申请日：2025-04-07
Applicant: 惠然科技有限公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/22 , G01N21/84 , G01N23/2251
Abstract: 本申请公开了一种带电粒子束系统中视场缝合的方法、电子设备和存储介质。所述方法包括：基于第一标定，构建不同工作距离下光学导航装置和磁偏转装置之间的第一关系模型；使用预处理模型对第一图像进行分辨率处理，以匹配磁偏转装置拍摄的第二图像；根据第一关系模型、匹配后的第一图像和第二图像形成光学导航装置至磁偏转装置的第一视场切换点；基于第二标定，构建磁偏转装置和电偏转装置之间的第二关系模型；根据第二关系模型形成磁偏转装置至电偏转装置的第二视场切换点；基于第一视场切换点和第二视场切换点进行相应视场补偿。利用本申请的方案，可以实现在不同模式下图像分辨率的无感切换，提高带电粒子束系统的整体性能。
-
公开(公告)号：CN119480589B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510063918.9
申请日：2025-01-15
Applicant: 惠然科技有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
Abstract: 本申请涉及电磁线圈技术领域，公开了一种用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备。所述方法包括：确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数和电阻值；以及根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，以保持所述物镜恒温。利用本申请的方案，可以在不同的工作状态下保持功率恒定，以保持物镜恒温。
-
公开(公告)号：CN119480590A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510007487.4
申请日：2025-01-03
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种电子束控制装置及方法、扫描电子显微镜，其中电子束控制装置包括：光阑件，光阑件上具有若干个间隔设置的光阑孔，其中各个光阑孔的孔径大小不同；蜗轮组件，其包括蜗轮和与蜗轮适配的蜗杆，光阑件放置在蜗轮的上表面；第一驱动装置，其与蜗轮连接，并驱动蜗轮在第一方向上前进或者后退，其中第一方向与所述蜗杆的延伸方向平行；以及第二驱动装置，其与蜗杆连接，并驱动蜗杆旋转，使蜗轮带动光阑件旋转。本方案通过第一驱动装置带动蜗轮运动，使电子束与光阑件对准，然后再通过第二驱动装置驱动蜗杆旋转，进而带动蜗轮旋转，进而能够快速的定位到符合成像和分析条件的光阑孔。该方案操作简单，效率高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118588522A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073109.8
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
-
公开(公告)号：CN119936950A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411913808.9
申请日：2024-12-24
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于电子探测器的闪烁体装置、电子探测器及扫描电子显微镜。闪烁体装置至少包括：第一闪烁体、第二闪烁体和供电单元，第一闪烁体和第二闪烁体采用特定方式组合，并且，第一闪烁体用于产生第一光信号，以使得电子探测器被调制成第一工作模式；第二闪烁体用于产生第二光信号，以使得电子探测器被调制成第二工作模式；供电单元包括第一供电线和第二供电线，其中供电单元经由第一供电线或第二供电线分别向第一闪烁体或第二闪烁体进行单独供电，使得电子探测器在第一工作模式和第二工作模式之间进行切换。利用本申请的方案，可以在不改变电子探测器结构的同时，能根据探测需求切换工作模式，满足不同探测任务需求。
-
公开(公告)号：CN119689354A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202510007489.3
申请日：2025-01-03
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于检测电磁元件的性能的系统、方法及存储介质，涉及电子光学技术领域，包括：第一支臂、第二支臂、圆柱度仪测针、高斯计探头以及处理单元；所述第一支臂与所述第二支臂相互连接且呈特定角度；所述圆柱度仪测针设置在所述第一支臂下方，用于获取电磁元件表面不同位置的坐标数据；所述高斯计探头设置在所述第二支臂下方，用于获取所述电磁元件的磁场数据；所述处理单元连接到所述圆柱度仪测针和所述高斯计探头，用于接收所述坐标数据和所述磁场数据，并根据所述坐标数据和所述磁场数据来检测所述电磁元件的性能。通过上述系统，能够实现准确、全面地测量评估电磁元件的性能。
-
公开(公告)号：CN118588519B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411073110.0
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于双束电镜的物镜结构及双束电镜。该物镜结构包括：物镜第一电极，其包括第一装配面和第一静电面；物镜第二电极，其包括第二装配面和第二静电面；物镜第三电极，其包括第三装配面和第三静电面；以及空心柱体，其轴线与物镜结构的轴线重合；其中，第一装配面、第二装配面和第三装配面沿物镜结构轴线的方向依次布置，第三装配面平行于第一装配面，且第三装配面与第一装配面装配在一起，从而使得物镜第一电极和物镜第三电极均处于地电位；第二装配面与第一装配面平行。本申请实施例能为物镜第一电极和物镜第二电极提供足够的爬电距离，使得整个物镜结构能够承受至少20kV的压差，从而降低双束电镜中离子束单元的击穿风险。
-
公开(公告)号：CN118584529A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073112.X
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案，可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位，从而实现自动电子束对中，极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.03 seconds)
