用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN118967740B

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411436995.6

    申请日:2024-10-15

    Inventor: 金宪伟

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内的图像数据流;对所述图像数据流中相邻的两帧图像进行帧间差分,以获得前景像素;对相邻的两帧图像中的后一帧图像进行清晰度检测,以获得聚焦区域;筛选所述前景像素中位于所述聚焦区域内的目标运动像素;以及基于所述目标运动像素和目标位置之间的距离进行所述扫描电子显微镜中碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

    一种用于控制成像设备的方法及装置

    公开(公告)号:CN119211704A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411636163.9

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本申请公开了一种用于控制成像设备的方法及装置,属于自动化控制技术领域。该方法包括:获取针对所述成像设备的操作指令,所述操作指令用于指示所述成像设备执行目标操作;通过第一转换模块,将所述操作指令转换为针对所述成像设备的操作信息,用于确定所述成像设备被指示执行的目标操作;通过第二转换模块,根据所述成像设备的操作文档,将所述操作信息转换为针对所述成像设备的控制程序,用于控制所述成像设备。根据本申请公开的方法,可以实现成像设备根据用户的操作指令自动地执行操作,从而节省用户学习和掌握复杂的设备操作方法的时间成本,提高用户的工作效率。

    用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119151995B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411614473.0

    申请日:2024-11-13

    Inventor: 金宪伟 许涛 焦扬

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流;对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分,以提取放置样品台的初始掩码;基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息,使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码;以及根据所述目标掩码和所述目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

    用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119151995A

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411614473.0

    申请日:2024-11-13

    Inventor: 金宪伟 许涛 焦扬

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流;对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分,以提取放置样品台的初始掩码;基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息,使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码;以及根据所述目标掩码和所述目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

    用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN118967740A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411436995.6

    申请日:2024-10-15

    Inventor: 金宪伟

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内的图像数据流;对所述图像数据流中相邻的两帧图像进行帧间差分,以获得前景像素;对相邻的两帧图像中的后一帧图像进行清晰度检测,以获得聚焦区域;筛选所述前景像素中位于所述聚焦区域内的目标运动像素;以及基于所述目标运动像素和目标位置之间的距离进行所述扫描电子显微镜中碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

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