公开(公告)号：CN118604024A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410713310.1

申请日：2024-06-04

Applicant: 惠然科技有限公司 ,  中国航发四川燃气涡轮研究院 ,  清华大学天津电子信息研究院

Inventor： 信文平 ,  杨润潇 ,  韩晨垚 ,  刘航 ,  王志斌 ,  张卓然 ,  肖子涵 ,  宋宇坤

IPC: G01N23/20008 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/00

Abstract: 本发明公开了一种用于电镜的手动送样装置，包括送样杆、样品托盘和底座；底座用于固定在电镜主腔室内，送样杆的前端由电镜预抽室上的通孔穿入至电镜预抽室内，并能够携带样品托盘在电镜预抽室内进行轴向移动，使样品托盘能够由电镜预抽室移动至电镜主腔室内的底座上；底座的上端面开有沿送样杆的轴向贯穿底座的定位凹槽，且定位凹槽的槽宽由靠近电镜预抽室至远离电镜预抽室的方向逐渐变小，样品托盘的下端面设有与定位凹槽配合的定位凸台。该手动送样装置可实现将样品从大气环境转移至电镜主腔室内的高真空环境时，无需对电镜主腔室频繁抽真空，具有结构简单、操作容易、送样效率高等优点，适用于多个样品频繁送样的应用场景。