公开(公告)号：CN117466732A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311180646.8

申请日：2023-09-13

申请人： 成都东凯芯半导体材料有限公司 ,  四川东材科技集团股份有限公司

发明人： 费贤 ,  裴娜 ,  田原 ,  柯常胜 ,  母滨源 ,  李卫

IPC分类号： C07C67/08 ,  C07C69/653

摘要： 本发明公开了一种ArF光刻胶单体二乙二醇甲醚甲基丙烯酸酯的制备方法，以二乙二醇单甲醚以及甲基丙烯酸酐为反应原料，在加入阻聚剂的条件下，碱催化室温反应得到二乙二醇甲醚甲基丙烯酸酯，避免使用有毒的甲基丙烯酰氯，反应过程操作简单，转化率高，通过碱洗，酸洗等步骤可以得到纯度较高的粗产物；反应过程加入少量阻聚剂可以减少丙烯酸酯产品的自身聚合，提高收率，反应完成后经过蒸馏回收的二氯甲烷可以循环套用，保证产品转化率的同时降低了反应成本。

公开(公告)号：CN118666674A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410796539.6

申请日：2024-06-19

申请人： 成都东凯芯半导体材料有限公司 ,  四川东材科技集团股份有限公司

发明人： 柯常胜 ,  费贤 ,  裴娜 ,  田原 ,  李卫 ,  周友

IPC分类号： C07C67/08 ,  C07C67/03 ,  C07C67/14 ,  C07C67/48 ,  C07C67/54 ,  C07C67/62 ,  C07C69/54

摘要： 本发明公开了一种ArF光刻胶单体2‑甲基‑1‑苯基环戊酯‑2‑丙烯酸的制备方法，属于光刻胶单体化合物合成领域；该制备方法具体以1‑苯基环戊烷‑1‑醇和甲基丙烯酸类化合物(酸、酸酐或酰氯)为反应原料，以碱性化合物为催化剂，在加入阻聚剂的条件下，在溶剂中，于0～80℃下进行酯化反应得到2‑甲基‑1‑苯基环戊酯‑2‑丙烯酸。本发明是对该光刻胶单体合成及纯化的首次报道。本发明的制备方法转化率高，纯化工艺简单，反应液经过酸洗、碱洗、浓缩和减压蒸馏即可得到纯度98％以上的产品；在反应和蒸馏时加入阻聚剂可以有效减少产品的聚合，提高收率；其中反应溶剂可以循环使用，进一步节约了生产成本。