公开(公告)号：CN118223132A

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202410370577.5

申请日：2024-03-29

申请人： 扬州韩思半导体科技有限公司

发明人： 成鲁荣 ,  李宰卿 ,  崔令铉 ,  金振元 ,  杨志勇 ,  王盛 ,  单好

IPC分类号： C30B33/02 ,  C30B29/20 ,  G01J5/00 ,  G01J5/02

摘要： 一种具有蓝宝石窗口的石英腔及蓝宝石的粘贴方法，涉及晶圆热处理技术领域。包括石英腔本体，石英腔本体的测温部位设置有贯通石英腔本体侧壁的圆孔以及与圆孔同心设置、并且直径大于圆孔直径的蓝宝石安装槽，所述蓝宝石安装槽内配合粘接有蓝宝石窗口片。本发明采用蓝宝石测温窗口，蓝宝石测温窗口对5un波长的透过率为80％以上，同时配置测量波长在大于4.7的高温计，优选的采用测量波长在5um以上的高温计，从而有效避开卤素灯发出波长的干扰，可以准确测量晶圆的温度。

公开(公告)号：CN118223132B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410370577.5

申请日：2024-03-29

申请人： 扬州韩思半导体科技有限公司

发明人： 成鲁荣 ,  李宰卿 ,  崔令铉 ,  金振元 ,  杨志勇 ,  王盛 ,  单好

IPC分类号： C30B33/02 ,  C30B29/20 ,  G01J5/00 ,  G01J5/02

摘要： 一种具有蓝宝石窗口的石英腔及蓝宝石的粘贴方法，涉及晶圆热处理技术领域。包括石英腔本体，石英腔本体的测温部位设置有贯通石英腔本体侧壁的圆孔以及与圆孔同心设置、并且直径大于圆孔直径的蓝宝石安装槽，所述蓝宝石安装槽内配合粘接有蓝宝石窗口片。本发明采用蓝宝石测温窗口，蓝宝石测温窗口对5un波长的透过率为80％以上，同时配置测量波长在大于4.7的高温计，优选的采用测量波长在5um以上的高温计，从而有效避开卤素灯发出波长的干扰，可以准确测量晶圆的温度。