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公开(公告)号:CN1459022A
公开(公告)日:2003-11-26
申请号:CN01815771.8
申请日:2001-08-14
申请人: 拜澳富斯毫微科学有限公司
CPC分类号: B01J19/0046 , B01J2219/00378 , B01J2219/00387 , B01J2219/00527 , B01J2219/00585 , B01J2219/0059 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00612 , B01J2219/00659 , B01J2219/00675 , B01J2219/00677 , B01J2219/00689 , B01J2219/00691 , B01J2219/00698 , B01J2219/00704 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01L3/0244 , B82B3/00 , C40B40/06 , C40B50/14 , Y10S977/924
摘要: 本发明是形成阵列的专用设备,形成的阵列包括由一种或多种材料组成的一个或多个点状区域。本发明可能包括一个X,Y控制器,一个X,Y平移台,一个载样基片,一个沉积基片,一个点样探针。计算机控制所有组件的相对位置。近一步,本发明使用湿度控制系统在探针和基片之间产生毛细桥,用于在载样基片、点样探针和沉积基片间传输沉积物。