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发明公开
一种透明的晶面取向可控的锐钛矿TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法无效

公开(公告)号：CN108588788A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201810254818.4

申请日：2018-03-26

申请人： 新乡学院 , 河南捷源盛新材料科技有限公司

发明人： 王刘杰 , 潘洪革 , 陈改荣 , 张庆新 , 马志华 , 朱香玉 , 程天乐

IPC分类号： C25D11/26 , B82Y40/00 , C23C14/35 , C23C14/18 , C23C14/58

CPC分类号： C25D11/26 , B82Y40/00 , C23C14/185 , C23C14/35 , C23C14/58

摘要： 本发明公开了一种透明的晶面取向可控的锐钛矿TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法，采用磁控溅射沉积法在ITO导电玻璃上沉积一层Ti膜；以基体为阳极，Pt片为阴极进行阳极氧化，电压为40V，室温下阳极氧化至Ti膜透明；将沉积非晶TiO2纳米管阵列薄膜的ITO导电玻璃片置于管式炉中进行退火处理，使用相同的Ti膜在不同的电解液组成下进行阳极氧化可以获得透明的不同晶面取向的TiO2纳米管阵列薄膜。本发明制得的单晶锐钛矿TiO2纳米管阵列薄膜具有较好的光电转化效率，并且本发明制备方法可控性强、效率高且操作简单。