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公开(公告)号：CN112117229A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010565525.5
申请日：2020-06-19
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和衬底固定装置，该静电吸盘包括：至少一个导体层；静电电极；以及基体，静电电极埋入在基体中，基体具有第一介电层，静电电极安装在第一介电层上，基体具有堆叠在第一介电层上并覆盖静电电极的第二介电层。导体层形成在第一介电层的与安装静电电极的表面相反的表面上。第二介电层具有面向第一介电层的第一表面以及与第一表面相反的第二表面，并且第二表面是放置吸附对象的放置表面。第一介电层的相对介电常数低于第二介电层的相对介电常数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114853387A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210112375.1
申请日：2022-01-29
Applicant: 新光电气工业株式会社
Abstract: 一种紫外线检测材料，其包含含有铝、锶、铈、镧和锰的复合氧化物以及有机聚合物。所述紫外线检测材料不被波长大于310nm的电磁波激发，而被波长等于或小于310nm的电磁波激发，从而发射出发射波长的峰在480nm以上700nm以下的光。
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公开(公告)号：CN114068384A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110881071.7
申请日：2021-08-02
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 静电卡盘用部件的一部分材料包含镧系元素，所述静电卡盘构造为利用静电力吸附目标物体。当用波长范围短于400nm的电磁波照射时，该部件发射的光的波长范围与所述电磁波的波长范围不同。
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公开(公告)号：CN114543991A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111406445.6
申请日：2021-11-24
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: G01J1/58
Abstract: 本申请涉及一种复合氧化物，包含铝氧化物、锶氧化物、铈氧化物、镧氧化物和锰氧化物。用波长不大于300nm的第一电磁波照射复合氧化物时所述复合氧化物的发光方式不同于用波长大于300nm的第二电磁波照射复合氧化物时所述复合氧化物的发光方式。
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公开(公告)号：CN113809055A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110660167.0
申请日：2021-06-15
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L25/075 , H01L33/54 , H01L33/62
Abstract: 本发明提供能够抑制发光元件的劣化的发光装置。发光装置(10)具备：具有透光性的陶瓷基板(20)；安装于陶瓷基板(20)的发光元件(30)；设于陶瓷基板(20)的内部并与发光元件(30)电连接的配线(60)；与陶瓷基板(20)对置地设置的散热部件(40)；以及将陶瓷基板(20)与散热部件(40)之间气密地密封的密封部件(50)。发光元件(30)被设置在由陶瓷基板(20)、散热部件(40)和密封部件(50)包围的空间中。配线(60)包含在陶瓷基板(20)的平面方向延伸的配线层(62)。
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公开(公告)号：CN114858275A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210111407.6
申请日：2022-01-29
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: G01J1/58
Abstract: 一种紫外线检测材料，其包含含有铝、锶、铈、镧和锰的复合氧化物以及软化点为900℃以下的玻璃。所述紫外线检测材料不被波长大于310nm的电磁波激发，而被波长等于或小于310nm的电磁波激发，从而发射出发射波长的峰在480nm以上700nm以下的光。
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