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发明授权
具有碎形电极的声波MEMS共振器与滤波器及其制造方法有权

公开(公告)号：CN109510607B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201810959018.2

申请日：2018-08-22

申请人： 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司

发明人： H·坎帕内拉-皮内达 , 钱优 , R·库玛

IPC分类号： H03H9/54 , B81B7/04 , H01P1/20

摘要： 本发明涉及具有碎形电极的声波MEMS共振器与滤波器及其制造方法，提供了设计具有碎形几何的体内声波(BAW)共振器的方法以及所形成的装置。实施例包含：提供一碎形产生函数；提供三条或更多条线段；将该碎形产生函数应用于该等三条或更多条线段中的每一线段，而形成三条或更多条各别的碎形线段，该等三条或更多条碎形线段中的每一碎形线段具有一各别的起点及终点、以及至少四条子线段；以及将该等三条或更多条碎形线段中的每一碎形线段的一终点连接到该等三条或更多条碎形线段中的另一碎形线段的一接续的起点，而形成代表一BAW共振器的一电极的面积的一闭合回路轮廓线，该闭合回路轮廓线具有大于一且小于二的一碎形维度。