公开(公告)号：CN107058950A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710238625.5

申请日：2017-04-13

申请人： 新疆大学

发明人： 简基康 ,  王颖 ,  郭燕红

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/24

CPC分类号： C23C14/0623 ,  C23C14/24

摘要： 本发明公开一种螺旋结构的碲化铋纳米片薄膜及其制备方法，是通过以下工艺过程实现的：在高真空热蒸发镀膜机坩埚中，加入一定量的高纯Bi2Te3粉末，放置于加热区域。调整衬底样品台到蒸发源的距离至10cm，在衬底样品台上放置清洗过的氟晶云母。开启复合分子泵机组抽真空至5*10‑5Pa，衬底加热至380℃‑400℃，热蒸发源温度加热至340℃‑360℃，开始镀膜。在此温度下反应5‑120min，通过控制面板调节蒸发源和衬底温度至0℃，等待仪器自然降温后，获得产物。本发明的特点在于：此方法可直接制备出螺旋结构的碲化铋纳米片薄膜；产物形貌螺旋生长，台阶清晰可见；无其他产物，对环境污染小。