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公开(公告)号：CN110514117B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN201910829992.1
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种芯片沟道搜索定位装置，包括激光发射源，用于发射激光至芯片上；激光强度检测部件，与所述激光发射源相对设置，以接收并检测所述激光发射源发射的激光经过所述芯片后的激光强度；芯片承载部件，处于所述激光发射源与所述激光强度检测部件之间的区域，并用于承载所述芯片，且所述芯片承载部件能够相对所述激光发射源运动；运算控制部件，与所述激光强度检测部件通讯连接，用于接收所述激光强度检测部件检测到的信号并进行运算获取所述芯片的沟道的位置。本发明的一种芯片沟道搜索定位装置，能够通过透过芯片的激光强度的变化搜索定位芯片的沟道，数据量小且算法简单，具有制造成本低、检测速度快的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110514117A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910829992.1
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种芯片沟道搜索定位装置，包括激光发射源，用于发射激光至芯片上；激光强度检测部件，与所述激光发射源相对设置，以接收并检测所述激光发射源发射的激光经过所述芯片后的激光强度；芯片承载部件，处于所述激光发射源与所述激光强度检测部件之间的区域，并用于承载所述芯片，且所述芯片承载部件能够相对所述激光发射源运动；运算控制部件，与所述激光强度检测部件通讯连接，用于接收所述激光强度检测部件检测到的信号并进行运算获取所述芯片的沟道的位置。本发明的一种芯片沟道搜索定位装置，能够通过透过芯片的激光强度的变化搜索定位芯片的沟道，数据量小且算法简单，具有制造成本低、检测速度快的特点。
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公开(公告)号：CN110487725A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910829980.9
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提供一种自动聚焦的检测装置及自动聚焦方法，其中检测装置，包括激光发射源、检测芯片、物镜，物镜处于激光发射源与检测芯片之间，用于将平行光束聚焦；光强度检测模块，与物镜相对设置，以接收并检测平行光束经过物镜及检测芯片后的光强度；运算控制模块，与光强度检测模块通讯连接，用于接收光强度检测模块检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围；物镜高度调整部件，与运算控制模块控制连接，以获取光强度变化范围并根据光强度变化范围调整物镜与检测芯片之间的相对高度，以使平行光束聚焦于检测区域平面上。本发明通讯数据量相对较小，对设备的硬件及软件要求相对较低，能够节约制造及使用成本。
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公开(公告)号：CN110487725B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201910829980.9
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提供一种自动聚焦的检测装置及自动聚焦方法，其中检测装置，包括激光发射源、检测芯片、物镜，物镜处于激光发射源与检测芯片之间，用于将平行光束聚焦；光强度检测模块，与物镜相对设置，以接收并检测平行光束经过物镜及检测芯片后的光强度；运算控制模块，与光强度检测模块通讯连接，用于接收光强度检测模块检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围；物镜高度调整部件，与运算控制模块控制连接，以获取光强度变化范围并根据光强度变化范围调整物镜与检测芯片之间的相对高度，以使平行光束聚焦于检测区域平面上。本发明通讯数据量相对较小，对设备的硬件及软件要求相对较低，能够节约制造及使用成本。
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公开(公告)号：CN210863508U
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201921456753.8
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司 , 清华大学
Abstract: 本实用新型提供一种能够自动聚焦的检测装置，其中检测装置，包括激光发射源、检测芯片、物镜，物镜处于激光发射源与检测芯片之间，用于将平行光束聚焦；光强度检测模块，与物镜相对设置，以接收并检测平行光束经过物镜及检测芯片后的光强度；运算控制模块，与光强度检测模块通讯连接，用于接收光强度检测模块检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围；物镜高度调整部件，与运算控制模块控制连接，以获取光强度变化范围并根据光强度变化范围调整物镜与检测芯片之间的相对高度，以使平行光束聚焦于检测区域平面上。本实用新型通讯数据量相对较小，对设备的硬件及软件要求相对较低，能够节约制造及使用成本。
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公开(公告)号：CN210441819U
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201921456749.1
申请日：2019-09-04
Applicant: 新羿制造科技(北京)有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本实用新型提供一种芯片沟道搜索定位装置，包括激光发射源，用于发射激光至芯片上；激光强度检测部件，与所述激光发射源相对设置，以接收并检测所述激光发射源发射的激光经过所述芯片后的激光强度；芯片承载部件，处于所述激光发射源与所述激光强度检测部件之间的区域，并用于承载所述芯片，且所述芯片承载部件能够相对所述激光发射源运动；运算控制部件，与所述激光强度检测部件通讯连接，用于接收所述激光强度检测部件检测到的信号并进行运算获取所述芯片的沟道的位置。本实用新型的一种芯片沟道搜索定位装置，能够通过透过芯片的激光强度的变化搜索定位芯片的沟道，数据量小且算法简单，具有制造成本低、检测速度快的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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