公开(公告)号：CN103608645B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201280021358.1

申请日：2012-05-02

申请人： 施肯拉公司

发明人： 诺贝特·佩斯奇科 ,  弗拉迪米尔·蓬克拉托夫 ,  马丁·瓦伦丁 ,  汉斯-乔基姆·闵采尔

IPC分类号： G01D5/38 ,  G01D5/28

CPC分类号： G01B11/26 ,  G01D5/285 ,  G01D5/38

摘要： 一种用于确定被可旋转支撑对象的旋转角位置的位置检测器，包括用于产生光束的光源、衍射光栅、反射镜，其以光束被从其反射到衍射光栅上且在反射镜的旋转期间在衍射光栅上通过的方式以共同旋转的方式与对象相连，从而产生衍射光、干涉设备，其被配置成从而能够使衍射光的不同衍射级进行干涉，从而产生干涉图、光检测器，通过其能够检测干涉图的由反射光束通过衍射光栅所引起的亮度过程、以及评估单元，通过其能够基于亮度过程来确定对象的旋转角位置。

公开(公告)号：CN103608645A

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201280021358.1

申请日：2012-05-02

申请人： 施肯拉公司

发明人： 诺贝特·佩斯奇科 ,  弗拉迪米尔·蓬克拉托夫 ,  马丁·瓦伦丁 ,  汉斯-乔基姆·闵采尔

IPC分类号： G01D5/38 ,  G01D5/28

CPC分类号： G01B11/26 ,  G01D5/285 ,  G01D5/38

摘要： 一种用于确定被可旋转支撑对象的旋转角位置的位置检测器，包括用于产生光束的光源、衍射光栅、反射镜，其以光束被从其反射到衍射光栅上且在反射镜的旋转期间在衍射光栅上通过的方式以共同旋转的方式与对象相连，从而产生衍射光、干涉设备，其被配置成从而能够使衍射光的不同衍射级进行干涉，从而产生干涉图、光检测器，通过其能够检测干涉图的由反射光束通过衍射光栅所引起的亮度过程、以及评估单元，通过其能够基于亮度过程来确定对象的旋转角位置。