-
公开(公告)号:CN104105943A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201380008646.8
申请日:2013-01-17
申请人: 奥林巴斯株式会社
发明人: 藤田浩正
CPC分类号: G01B11/24 , G01B11/18 , G01D5/268 , G01D5/285 , G01D5/35374 , G01J1/0425 , G02B6/3616 , G02B2006/12111 , G02B2006/12138
摘要: 一种光学式传感器(10),具备光源(20)、对从光源(20)出射的光进行导光的特性用导光部件(40)、配设于特性用导光部件(40)并根据特性用导光部件(40)的弯曲量来使光的光学特性变化的特性变化部(50)、对光学特性通过特性变化部(50)而变化且被特性用导光部件(40)导光后的光进行检测的检测部(60)。光学式传感器(10)还具有限制部件(80)和定位机构(90),限制部件(80)沿着特性用导光部件(40)配设,至少抑制特性用导光部件(40)的扭转,限制特性用导光部件(40)的弯曲状态,定位机构(90)对特性用导光部件(40)和限制部件(80)进行保持,伴随着保持,至少在特性用导光部件(40)的周向上将特性变化部(50)定位。
-
公开(公告)号:CN102252632A
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201110083218.4
申请日:2011-03-30
申请人: NXP股份有限公司
发明人: 金·范乐
CPC分类号: G01D5/3473 , G01D5/285 , G01D5/30 , G01P3/36 , G06F3/0312 , G06F3/0362 , H01H25/06
摘要: 在示例实施例中,系统检测旋钮的旋转角度,所述系统包含具有长度和第一末端和第二末端的轴;第二末端具有定义在其上的倾斜反射面,第一末端固定连接到旋钮上。旋转体包含轴,具有容纳轴的具有暴露倾斜反射面的第二末端的插座。集成电路光学模块光耦合到旋转体,并且光学模块检测来自倾斜反射面的光辐照形状。光学模块包括固态光源和多个光电检测器,其基于暴露给光产生电信号。当旋钮旋转时,倾斜反射面产生变化的不对称辐照形状,这种变化经过光电检测器被转换为电信号。电信号对应旋钮的旋转角度。
-
公开(公告)号:CN104105943B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201380008646.8
申请日:2013-01-17
申请人: 奥林巴斯株式会社
发明人: 藤田浩正
CPC分类号: G01B11/24 , G01B11/18 , G01D5/268 , G01D5/285 , G01D5/35374 , G01J1/0425 , G02B6/3616 , G02B2006/12111 , G02B2006/12138
摘要: 一种光学式传感器(10),具备光源(20)、对从光源(20)出射的光进行导光的特性用导光部件(40)、配设于特性用导光部件(40)并根据特性用导光部件(40)的弯曲量来使光的光学特性变化的特性变化部(50)、对光学特性通过特性变化部(50)而变化且被特性用导光部件(40)导光后的光进行检测的检测部(60)。光学式传感器(10)还具有限制部件(80)和定位机构(90),限制部件(80)沿着特性用导光部件(40)配设,至少抑制特性用导光部件(40)的扭转,限制特性用导光部件(40)的弯曲状态,定位机构(90)对特性用导光部件(40)和限制部件(80)进行保持,伴随着保持,至少在特性用导光部件(40)的周向上将特性变化部(50)定位。
-
公开(公告)号:CN1199031C
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN01803896.4
申请日:2001-01-18
申请人: 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人: S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要: 一种用于可移动测量目标,特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中光源(2)产生的一束测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上,借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法,即用简单的光学构件能实现反光镜,尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议:借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
-
公开(公告)号:CN103608645B
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201280021358.1
申请日:2012-05-02
申请人: 施肯拉公司
发明人: 诺贝特·佩斯奇科 , 弗拉迪米尔·蓬克拉托夫 , 马丁·瓦伦丁 , 汉斯-乔基姆·闵采尔
摘要: 一种用于确定被可旋转支撑对象的旋转角位置的位置检测器,包括用于产生光束的光源、衍射光栅、反射镜,其以光束被从其反射到衍射光栅上且在反射镜的旋转期间在衍射光栅上通过的方式以共同旋转的方式与对象相连,从而产生衍射光、干涉设备,其被配置成从而能够使衍射光的不同衍射级进行干涉,从而产生干涉图、光检测器,通过其能够检测干涉图的由反射光束通过衍射光栅所引起的亮度过程、以及评估单元,通过其能够基于亮度过程来确定对象的旋转角位置。
-
公开(公告)号:CN1395677A
公开(公告)日:2003-02-05
申请号:CN01803896.4
申请日:2001-01-18
申请人: 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人: S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要: 一种用于可移动测量目标,特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源(2)产生的测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上,借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法,即用简单的光学构件能实现反光镜,尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议:借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
-
公开(公告)号:CN108027240A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201780001019.X
申请日:2017-03-07
申请人: 松下知识产权经营株式会社
发明人: 胁田尚英
CPC分类号: G01B11/14 , G01C9/06 , G01C9/12 , G01C9/18 , G01D5/285 , G01D5/30 , G01K5/62 , G01K11/00 , G01N13/02 , G01N27/302 , G01S13/75 , G01S13/89 , G01S13/90 , G02B5/122 , G02B5/132 , G06T7/74 , H04N5/2256 , H04N7/181
摘要: 本申请的一方式所涉及的状态可视化元件具备:光学部件,包含与计测对象物的相对位置关系被固定的固定部、以及可动地被支承于所述固定部且与重力方向所成的角度被保持为一定的可动部,在所述固定部和所述可动部成为规定的位置关系时,使光或者电磁波回归性反射,所述光学部件根据所述固定部和所述可动部的相对位置关系的变化,使向回归性反射方向反射的光或者电磁波的强度变化。
-
公开(公告)号:CN105910630A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201610261978.2
申请日:2016-04-25
IPC分类号: G01D5/28
CPC分类号: G01D5/285
摘要: 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置:⑴.宽带LED透过小圆孔为光源;⑵.经准直透镜成为准直光束;⑶.第一平板分束器耦合激光和白光;⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光;⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜,其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上,以提供高精度光程差控制;⑹.两束光经第三平板分束器合束,同时提供两束光之间的微小倾角;⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上;⑻.使用算法提取干涉条纹位置;(9).计算两光束之间的光程差,得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米,小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。
-
公开(公告)号:CN102661709B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201210121975.0
申请日:2012-04-23
申请人: 清华大学
IPC分类号: G01B11/02
摘要: 一种大行程运动台位移测量方法,该方法包括光路分配装置,位置敏感探测器阵列以及探测头阵列;所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布,保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测量光被位置敏感探测器阵列检测到;能够判断光束是否被遮挡的所述探测头阵列可用于所述运动台位置的辅助测量;根据上述测量方案,可确定所述位置敏感探测器阵列所测的第一测量光对应的运动台位置,进而解算所述运动台位移量。本发明有效地扩大了位置敏感探测器测量范围,实现了运动台长行程位移量的测量。
-
公开(公告)号:CN103608645A
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201280021358.1
申请日:2012-05-02
申请人: 施肯拉公司
发明人: 诺贝特·佩斯奇科 , 弗拉迪米尔·蓬克拉托夫 , 马丁·瓦伦丁 , 汉斯-乔基姆·闵采尔
摘要: 一种用于确定被可旋转支撑对象的旋转角位置的位置检测器,包括用于产生光束的光源、衍射光栅、反射镜,其以光束被从其反射到衍射光栅上且在反射镜的旋转期间在衍射光栅上通过的方式以共同旋转的方式与对象相连,从而产生衍射光、干涉设备,其被配置成从而能够使衍射光的不同衍射级进行干涉,从而产生干涉图、光检测器,通过其能够检测干涉图的由反射光束通过衍射光栅所引起的亮度过程、以及评估单元,通过其能够基于亮度过程来确定对象的旋转角位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-