光学式传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104105943A

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201380008646.8

    申请日:2013-01-17

    发明人: 藤田浩正

    IPC分类号: G01B11/24 G01D5/353

    摘要: 一种光学式传感器(10),具备光源(20)、对从光源(20)出射的光进行导光的特性用导光部件(40)、配设于特性用导光部件(40)并根据特性用导光部件(40)的弯曲量来使光的光学特性变化的特性变化部(50)、对光学特性通过特性变化部(50)而变化且被特性用导光部件(40)导光后的光进行检测的检测部(60)。光学式传感器(10)还具有限制部件(80)和定位机构(90),限制部件(80)沿着特性用导光部件(40)配设,至少抑制特性用导光部件(40)的扭转,限制特性用导光部件(40)的弯曲状态,定位机构(90)对特性用导光部件(40)和限制部件(80)进行保持,伴随着保持,至少在特性用导光部件(40)的周向上将特性变化部(50)定位。

    光学角度传感器及光学旋转速度传感器

    公开(公告)号:CN102252632A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110083218.4

    申请日:2011-03-30

    发明人: 金·范乐

    IPC分类号: G01B11/26 G01D5/30

    摘要: 在示例实施例中,系统检测旋钮的旋转角度,所述系统包含具有长度和第一末端和第二末端的轴;第二末端具有定义在其上的倾斜反射面,第一末端固定连接到旋钮上。旋转体包含轴,具有容纳轴的具有暴露倾斜反射面的第二末端的插座。集成电路光学模块光耦合到旋转体,并且光学模块检测来自倾斜反射面的光辐照形状。光学模块包括固态光源和多个光电检测器,其基于暴露给光产生电信号。当旋钮旋转时,倾斜反射面产生变化的不对称辐照形状,这种变化经过光电检测器被转换为电信号。电信号对应旋钮的旋转角度。

    光学式传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104105943B

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201380008646.8

    申请日:2013-01-17

    发明人: 藤田浩正

    IPC分类号: G01B11/24 G01D5/353

    摘要: 一种光学式传感器(10),具备光源(20)、对从光源(20)出射的光进行导光的特性用导光部件(40)、配设于特性用导光部件(40)并根据特性用导光部件(40)的弯曲量来使光的光学特性变化的特性变化部(50)、对光学特性通过特性变化部(50)而变化且被特性用导光部件(40)导光后的光进行检测的检测部(60)。光学式传感器(10)还具有限制部件(80)和定位机构(90),限制部件(80)沿着特性用导光部件(40)配设,至少抑制特性用导光部件(40)的扭转,限制特性用导光部件(40)的弯曲状态,定位机构(90)对特性用导光部件(40)和限制部件(80)进行保持,伴随着保持,至少在特性用导光部件(40)的周向上将特性变化部(50)定位。

    基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置

    公开(公告)号:CN105910630A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201610261978.2

    申请日:2016-04-25

    IPC分类号: G01D5/28

    CPC分类号: G01D5/285

    摘要: 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置:⑴.宽带LED透过小圆孔为光源;⑵.经准直透镜成为准直光束;⑶.第一平板分束器耦合激光和白光;⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光;⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜,其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上,以提供高精度光程差控制;⑹.两束光经第三平板分束器合束,同时提供两束光之间的微小倾角;⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上;⑻.使用算法提取干涉条纹位置;(9).计算两光束之间的光程差,得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米,小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。

    一种大行程运动台位移测量方法

    公开(公告)号:CN102661709B

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201210121975.0

    申请日:2012-04-23

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: G01B11/02

    CPC分类号: G01B11/04 G01B11/14 G01D5/285

    摘要: 一种大行程运动台位移测量方法,该方法包括光路分配装置,位置敏感探测器阵列以及探测头阵列;所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布,保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测量光被位置敏感探测器阵列检测到;能够判断光束是否被遮挡的所述探测头阵列可用于所述运动台位置的辅助测量;根据上述测量方案,可确定所述位置敏感探测器阵列所测的第一测量光对应的运动台位置,进而解算所述运动台位移量。本发明有效地扩大了位置敏感探测器测量范围,实现了运动台长行程位移量的测量。