公开(公告)号：CN103424078A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201210152283.2

申请日：2012-05-15

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 惠俊杰

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0616

摘要： 一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，该膜厚仪的光束调整箱与晶圆承载台一侧设有气流产生器，该气流产生器能够在光束调整箱与晶圆承载台之间产生气流，从而将晶圆挥发的气体吹走，避免或者减少晶圆挥发的气体进入光束调整箱，光束调整箱内的镜片不易受到污染，因此该膜厚仪的测量结果不易受到影响，测量精度较高。

公开(公告)号：CN103424078B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201210152283.2

申请日：2012-05-15

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 惠俊杰

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0616

摘要： 一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，该膜厚仪的光束调整箱与晶圆承载台一侧设有气流产生器，该气流产生器能够在光束调整箱与晶圆承载台之间产生气流，从而将晶圆挥发的气体吹走，避免或者减少晶圆挥发的气体进入光束调整箱，光束调整箱内的镜片不易受到污染，因此该膜厚仪的测量结果不易受到影响，测量精度较高。