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公开(公告)号：CN108960121A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810688603.3
申请日：2018-06-28
申请人： 王忠亮
发明人： 王忠亮
CPC分类号： G06K9/00255 , G01B11/0616
摘要： 本发明涉及一种基于面部识别的通道管控平台，包括：拍摄镜头，设置在CCD传感设备的前方，用于为所述CCD传感设备感应的光线搭建光学路径；灰尘测量仪，设置在所述拍摄镜头的一侧，用于对所述拍摄镜头上的灰尘厚度进行测量，并在所述灰尘厚度超过限量时，发出灰尘过厚信号，以及在所述灰尘厚度未超过限量时，发出灰尘正常信号；嫌疑人检测设备，用于对共轭梯度滤波图像进行基于面部识别的嫌疑人检测处理，以在检测到嫌疑人对象时，发出紧急防控信号；自动除尘设备，与所述灰尘测量仪连接，用于在接收到所述灰尘过厚信号时，基于所述灰尘厚度执行与所述灰尘厚度对应的除尘处理。通过本发明，提升了海关入境通道处的通行效率。
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公开(公告)号：CN107894209A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710942080.6
申请日：2017-10-11
申请人： 汕头大学
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616
摘要： 本发明实施例公开了一种浸渍辊涂布涂层厚度机器视觉检测方法，包括以下步骤：采集浸渍辊静止状态时的侧面图像；选择所述侧面图像的向上运行方向上的浸渍辊与液面上方部分区域为感兴趣区域，并提取液面上方的浸渍辊的轮廓；在浸渍辊运行时，获取所述感兴趣区域的粘提液体边缘轮廓；合并所述浸渍辊的轮廓与所述粘提液体边缘轮廓，标定测量点，做出与所述浸渍辊的轮廓的圆心坐标的测量线，计算所述浸渍辊的轮廓与所述粘提液体边缘轮廓之间的距离。采用本发明，利用机器视觉检测技术和图像处理技术，通过涂布涂层厚度机器视觉在线检测，克服离线检测的方法不能实时的反馈涂层厚度信息的缺陷，相比传统离线厚度检测更准确、更高效。
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公开(公告)号：CN107860322A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711287076.7
申请日：2017-12-07
申请人： 东华大学
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616
摘要： 本发明涉及一种液膜厚度测量装置，包括光学照明系统、图像采集系统和图像处理系统，所述光学照明系统用于照射被采集对象；所述图像采集系统用于获取被采集对象被光学照明系统照射后的光信号，并将其转换为电信号；所述图像处理系统用于将被采集对象的电信号和标定参照物的电信号进行对比计算得到被采集对象的真实液膜厚度。本发明还涉及一种液膜厚度测量方法。本发明能够缩短检测时间。
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公开(公告)号：CN107796317A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711216778.6
申请日：2017-11-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616
摘要： 本发明属于非接触式在线测厚领域，并具体公开了一种薄膜在线激光测厚系统及方法，包括大理石框架和设于大理石框架内部的C形架，大理石框架内顶部及底部设置有钢片和导轨；C形架具有上梁和下梁，上、下梁之间放置待测薄膜，上梁上下端部设置第一、第二激光位移传感器，第一、第二激光位移传感器分别用于测量各自发射点到钢片及待测薄膜上表面的距离，下梁上下端部设置第三激光位移传感器和滑块，第三激光位移传感器用于测量待测薄膜下表面到其发射点的距离，滑块与导轨滑动配合，并可沿导轨做来回水平直线运动。所述方法采用所述测厚系统进行厚度测量。本发明可消除测量偏差，提高测量精度，适用于微米级及以下的高精度激光测厚应用场合。
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公开(公告)号：CN106257234A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201610398755.0
申请日：2016-06-07
申请人： 施乐公司
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616 , C23C16/52 , G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/0691 , G01B11/06
摘要： 本发明提供一种用于利用分光光度计提供膜厚度分析的方法，包括将照明装置构造成向沉积在基底表面上的膜发出光束，将线性传感器构造成经由梯度折射率透镜和线性可变滤光器接收从基底表面上的沉积膜反射的光，以及将处理器构造成基于从线性传感器接收的膜的光谱反射率确定膜的厚度。
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公开(公告)号：CN104078375B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310363078.5
申请日：2013-08-20
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01L22/12 , G01B11/0616 , G01B11/0683 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01L22/26 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 提供一种在蚀刻处理中精密地检测处理对象的膜的剩余厚度的等离子处理装置或者方法。检测在处理中从上述晶片表面得到的多个波长的干涉光的强度，从在上述处理中的任意时刻检测到的上述多个波长的干涉光的强度检测它们的时间微分的时间系列数据，使用与上述多个波长有关的上述时间序列数据检测将波长作为参数的实微分波形图案数据，使用比较了该实微分波形图案数据、和使用在上述晶片的处理之前预先具有2种不同的基底膜的厚度的膜构造的上述处理对象的膜的剩余厚度和将上述干涉光的波长作为参数的基本微分波形图案数据而制成的检测用微分波形图案数据所得的结果，计算上述任意的时刻的剩余膜厚度，使用该剩余膜厚度判定达到上述处理的目标。
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公开(公告)号：CN105980834A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201380081681.2
申请日：2013-12-26
申请人： POSCO公司
发明人： 洪在和
IPC分类号： G01N21/3563 , G01N21/55
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/0616 , G01N21/25 , G01N21/55 , G01N2021/8427 , G01N2201/0636
摘要： 根据本发明的一个实施方案，一种用于同时测量白度和涂覆量的装置，其包括：发光单元，其被布置在距试样预定距离处并且用光照射该试样；滤波器单元，其被布置在所述发光单元与所述试样之间并且使红外光或可见光选择性地透过；检测单元，其被布置在距试样预定距离处并且检测由试样反射的红外光或可见光；以及计算单元，其被连接到所述检测单元上，根据由检测单元检测到的红外光的量计算涂覆量，并且根据由检测单元检测到的可见光的量计算白度。由于通过根据本发明一个实施方案的用于同时测量白度和涂覆量的装置，可以测量白度和涂覆量，因此可以提高工作效率并且可以降低设备的资本支出。
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公开(公告)号：CN105627937A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510999251.X
申请日：2015-12-25
申请人： 东风商用车有限公司
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616
摘要： 一种辉光放电光谱法测定白色油漆板漆膜单层膜厚的方法，先设定辉光光谱仪的工作条件，再固定辉光光谱仪的溅射速率，然后通过辉光光谱仪对白色油漆板、单层漆板分别进行由表及里的QDP分析，获取白色油漆板、单层漆板的QDP分析原始数据图，再解析单层漆板QDP分析原始数据图，获取白色油漆板漆膜中单层漆膜的特征元素含量，然后通过图谱解析原则及单层漆膜的特征元素含量变化解析白色油漆板QDP分析原始数据图，获取初步单层漆膜的厚度，再通过校正系数对初步单层漆膜的厚度进行校正，获取实际单层漆膜的膜厚。本设计不仅能测定漆膜总厚度与漆膜单层膜厚，而且操作简便、快速，成本低，测量结果准确性高。
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公开(公告)号：CN103424078B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201210152283.2
申请日：2012-05-15
申请人： 无锡华润上华科技有限公司
发明人： 惠俊杰
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0616
摘要： 一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，该膜厚仪的光束调整箱与晶圆承载台一侧设有气流产生器，该气流产生器能够在光束调整箱与晶圆承载台之间产生气流，从而将晶圆挥发的气体吹走，避免或者减少晶圆挥发的气体进入光束调整箱，光束调整箱内的镜片不易受到污染，因此该膜厚仪的测量结果不易受到影响，测量精度较高。
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公开(公告)号：CN103003664A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180034055.9
申请日：2011-07-11
申请人： K-空间协会公司
发明人： 达里尔·巴利特 , 查尔斯·A·泰勒二世 , 巴里·D·维斯曼
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/958
CPC分类号： G01B11/0625 , G01B11/0616 , G01B11/303 , G01N21/47 , G01N21/8422
摘要： 本发明提供一种用于与沉积在大体透明基底（28）例如光伏电池上的薄膜半导体材料（26）的生产相关的方法和装置（20），用于检测薄膜（26）的特性，例如它的温度、表面粗糙度、厚度和/或光学吸收特性。由膜（26）发射的漫散射光（34，34’）得到的光谱曲线（44）揭示了特征光学吸收（Urbach）边。此外，吸收边可用于评价离散的材料样本（22）之间或同一材料样品（22）的不同位置之间的相对表面粗糙状况。通过比较两个或多个光谱曲线的吸收边特性，可以进行定性评价以确定膜（26）的表面粗糙度是优质还是劣质。
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