公开(公告)号：CN104103479B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201310114301.2

申请日：2013-04-02

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 郭楠 ,  曹志伟

IPC: H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。

公开(公告)号：CN104103479A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201310114301.2

申请日：2013-04-02

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 郭楠 ,  曹志伟

IPC: H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。