公开(公告)号：CN104103479B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201310114301.2

申请日：2013-04-02

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 郭楠 ,  曹志伟

IPC分类号： H01J37/05

摘要： 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。

公开(公告)号：CN103094143B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201110347322.X

申请日：2011-10-28

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 苏小鹏 ,  龚榜华 ,  郭楠

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01J37/244

摘要： 本发明提供一种离子注入监测方法，该方法包括以热波测量晶圆表面从而获得热波值；以及根据预先确定的热波值与晶圆退火后电阻的关系，确定晶圆的电阻从而监测晶圆的离子注入。根据本发明所述方法，可以节约监测时间。

公开(公告)号：CN103094143A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201110347322.X

申请日：2011-10-28

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 苏小鹏 ,  龚榜华 ,  郭楠

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01J37/244

摘要： 本发明提供一种离子注入监测方法，该方法包括以热波测量晶圆表面从而获得热波值；以及根据预先确定的热波值与晶圆退火后电阻的关系，确定晶圆的电阻从而监测晶圆的离子注入。根据本发明所述方法，可以节约监测时间。

公开(公告)号：CN104103479A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201310114301.2

申请日：2013-04-02

申请人： 无锡华润上华科技有限公司

发明人： 郭楠 ,  曹志伟

IPC分类号： H01J37/05

摘要： 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。