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发明公开
一种光纤式反射干涉光谱仪及其降噪方法

公开(公告)号：CN118960961A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411307996.0

申请日：2024-09-19

申请人： 无锡卓海科技股份有限公司

发明人： 徐晨瑜 , 相宇阳 , 俞胜武

IPC分类号： G01J3/45 , G01J3/10 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01B11/06 , G01N21/45

摘要： 本发明公开了一种光纤式反射干涉光谱仪及其降噪方法，该光纤式反射干涉光谱仪包括光源组件、光纤组件、降噪组件和采集分析组件；光源组件出射的光线通过降噪组件的第一端入射至降噪组件内，降噪组件包括干涉结构，干涉结构用于增强预设波长的光线的光强，降噪组件的第二端将增强后的光线传输至光纤组件的第一端；光纤组件的第二端用于将光线出射至待测样品，并接收待测样品反射的光线，光纤组件的第三端用于将待测样品反射的光线传输至采集分析组件；采集分析组件用于根据待测样品反射的光线，分析待测样品的厚度和光学常数。本发明提供的光纤式反射干涉光谱仪可以在测量样品的厚度和光学常数的同时提高光线的短波段信噪比。