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公开(公告)号：CN115164104B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202210515833.6
申请日：2022-05-11
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器，所述装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部，所述吹扫机以通气管道与输送管道相连通，所述钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构，所述气路传动机构与通气管道相装配，所述杂质处理机构与蒸发器相装配，所述滤网清理机构与过滤器相装配，所述阀门机构装配于钢瓶的出口端，所述检漏机构的一端与阀门机构以管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连。
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公开(公告)号：CN114602875B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202210140575.8
申请日：2022-02-16
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
IPC分类号： B08B3/08 , B08B3/10 , B08B3/14 , B08B13/00 , B65G45/22 , B65B41/10 , B65B31/06 , B65B11/06 , B65B51/10 , B65B61/10
摘要： 本发明公开了一种MEMS制程用有机清洗设备，属于芯片清洗技术领域，该清洗设备包括清洗箱体，清洗箱体两侧分别设置有进料口与出料口，清洗箱体内设置有有机清洗池，有机清洗池与进料口连通，进料口与有机清洗池通过输入轨道连通，输入轨道上设置有吹风筒，有机清洗池远离输入轨道一侧设置有输出轨道，输出轨道一侧远离有机清洗池一侧设置有检查箱，检查箱内设置有打包组件，出料口与打包组件通过滑槽连通，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线与有机清洗池、输出轨道、检查箱、打包组件连接，本发明具有针对MEMS制程的有机清洗并做打包处理，避免出现二次污染问题，且本发明在节省有机溶剂的同时还能够有效的提高清洗效果。
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公开(公告)号：CN115646936A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211358900.4
申请日：2022-11-01
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种复检功能的半导体制程用清洗设备，属于半导体制造技术领域。清洗箱体上设置有进料口，清洗箱体靠近进料口处设置有输送链条组，输送链条组绕过第一转向轴、第二转向轴并分别与第一转向轴、第二转向轴啮合，第一转向轴与清洗箱体旋转连接，清洗池底端设置有加热板，清洗池上方设置有超声波组件，清洗池一侧设置有运转轨道，运转轨道远离清洗池一侧设置有复检箱，复检箱远离回送轨道一侧设置有输出轨道，清洗箱体靠近运转轨道一侧设置有出料口，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线分别与超声波组件、输送链条组、复检箱、加热板连接。本发明具有自动精洗半导体上的杂质的功能。
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公开(公告)号：CN114602875A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210140575.8
申请日：2022-02-16
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
IPC分类号： B08B3/08 , B08B3/10 , B08B3/14 , B08B13/00 , B65G45/22 , B65B41/10 , B65B31/06 , B65B11/06 , B65B51/10 , B65B61/10
摘要： 本发明公开了一种MEMS制程用有机清洗设备，属于芯片清洗技术领域，该清洗设备包括清洗箱体，清洗箱体两侧分别设置有进料口与出料口，清洗箱体内设置有有机清洗池，有机清洗池与进料口连通，进料口与有机清洗池通过输入轨道连通，输入轨道上设置有吹风筒，有机清洗池远离输入轨道一侧设置有输出轨道，输出轨道一侧远离有机清洗池一侧设置有检查箱，检查箱内设置有打包组件，出料口与打包组件通过滑槽连通，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线与有机清洗池、输出轨道、检查箱、打包组件连接，本发明具有针对MEMS制程的有机清洗并做打包处理，避免出现二次污染问题，且本发明在节省有机溶剂的同时还能够有效的提高清洗效果。
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公开(公告)号：CN113203044B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110322335.5
申请日：2021-03-25
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种防气体泄漏的全自动特殊气体输送柜，涉及特殊气体输送柜技术领域，解决了输送时可能会产生漏气，有害气体外泄会对人的身体造成危害，且输送柜不便于移动，需要人工抬上车进行输送，费时费力，在输送途中柜体之间容易出现挤压碰撞的现象，柜体的底部没有减震功能，进而加剧柜体之间的碰撞力度，降低使用寿命问题。一种防气体泄漏的全自动特殊气体输送柜，包括底座，所述底座下端面的四个端角均设置有通槽，所述通槽内壁的顶面固定安装有安装板，所述安装板的下端面安装有固定块。本发明减震效果好，且在气体泄漏时，会发出警报，提醒工作人员，从而保护工作人员的安全。
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公开(公告)号：CN115289400B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202210799720.3
申请日：2022-07-06
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
IPC分类号： F17D3/01 , F17D5/00 , F17D1/02 , F16K17/20 , B01F27/191 , B01F27/90 , B01F101/30
摘要： 本发明公开了一种特种气体恒压输送用智能监测装置，包括中转箱，所述中转箱的输入端上连接有进气管，且中转箱的输出端上连接有输气管，所述中转箱内固定安装有引导块，所述引导块为弧型块，所述引导块上开始有活动孔，所述中转箱上固定安装有监测组件，所述监测组件组件上连接有警示组件，当特种气体经过进气管进入到中转箱，在通过输气管输送出去时，通过引导块引导气流经过监测组件，通过监测组件可以根据气体的压强进行监测，当特种气体输送过程中压强发生变化时，通过监测组件能够直接带动警示组件运行，从而方便工作人员直接通过储水盒内的清水发生的颜色变化，能够直观的发生输送管道内的输送压强是增大还是降低，便于工作人员的观察。
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公开(公告)号：CN115738656A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211468621.3
申请日：2022-11-22
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种带有有害气体精密出口过滤器的真空发生装置，涉及有害气体过滤技术领域，包括过滤腔、滤布、管道和真空泵，所述过滤腔的一侧设置真空泵，所述真空泵、输入管和输出管之间相连接，所述输入管位于输出管的上方，所述过滤腔的内部上方设置有滤布，所述输出管为双通道结构。本发明通过保险组件实时检测离开的有毒气体浓度，本装置根据检测结果对控制组件进行控制，分离组件与限速组件之间相互配合，将气体进入反应液后形成的大气泡进行粉碎，增大有毒气体与反应液接触面积，同时延长有毒气体在反应液内部的留存时间，提高本装置的过滤效果，控制组件配合保险组件进行运动，改变过滤腔内的反应液浓度。
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公开(公告)号：CN115164104A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210515833.6
申请日：2022-05-11
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器，所述装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部，所述吹扫机以通气管道与输送管道相连通，所述钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构，所述气路传动机构与通气管道相装配，所述杂质处理机构与蒸发器相装配，所述滤网清理机构与过滤器相装配，所述阀门机构装配于钢瓶的出口端，所述检漏机构的一端与阀门机构以管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连。
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公开(公告)号：CN114851083A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210477685.3
申请日：2022-04-29
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
IPC分类号： B24B57/02 , H01L21/306
摘要： Slurry(CMP研磨液)是晶圆表面平坦化工艺中的研磨材料和化学添加剂的混合物，Slurry主要是由研磨剂(Abrasive)、表面活性剂、PH缓冲胶、氧化剂和防腐剂等成分组成。Slurry是CMP工艺的关键要素之一，其性能直接影响晶圆抛光后表面的质量。本发明是一种用于给CMP工艺机台端供应稳定SLURRY研磨液的装置，为整个工艺过程提供流量稳定，温度，电导率，不间断的Slurry研磨液，保证整个工艺过程的稳定性。设备包括一个精抛液储液桶，一个粗抛液储液桶，两个气动隔膜泵，两个过滤器，两个冷凝器，一个加热器，一个温度传感器，一个电导率传感器，一桶KHO液体，一台PLC可编程控制器，一台HMI人机界面触摸屏，若干电磁气动阀和压力传感器组成。储液桶分为精抛液桶和粗抛液桶，分别为CMP工艺在不同需求下提供Slurry液体，储液桶下方管道与隔膜泵相连，泵提供压力将液体送至CMP工艺机台端，精抛液供应无回收，粗抛液循环回收，粗抛液循环与回收时，过滤器将管道中的Slurry液体过滤后回收至储液桶。
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公开(公告)号：CN115738656B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202211468621.3
申请日：2022-11-22
申请人： 无锡恒大电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种带有有害气体精密出口过滤器的真空发生装置，涉及有害气体过滤技术领域，包括过滤腔、滤布、管道和真空泵，所述过滤腔的一侧设置真空泵，所述真空泵、输入管和输出管之间相连接，所述输入管位于输出管的上方，所述过滤腔的内部上方设置有滤布，所述输出管为双通道结构。本发明通过保险组件实时检测离开的有毒气体浓度，本装置根据检测结果对控制组件进行控制，分离组件与限速组件之间相互配合，将气体进入反应液后形成的大气泡进行粉碎，增大有毒气体与反应液接触面积，同时延长有毒气体在反应液内部的留存时间，提高本装置的过滤效果，控制组件配合保险组件进行运动，改变过滤腔内的反应液浓度。
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